판매용 중고 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628677
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ID: 293628677
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering system, 6"
(4) Chambers
CTI CRYOGENICS 9600 Compressor
PC.
SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600은 얇은 필름을 입금하기 위해 특별히 설계된 산업 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 자체 포함된 현장 업그레이드 가능한 장치에서 사용할 수 있는 최고의 성능의 박막 스퍼터링 (Thin Film Sputtering) 기술을 제공합니다. SFI Endeavor 8600은 까다로운 박막 코팅을위한 최고의 선택입니다. 스퍼터드 필름 (SPUTTERED FILMS INC) Endeavor 8600에는 복잡한 필름의 적용에 대한 아이디어가 있습니다. 펄스 DC 마그네트론 스퍼터링 (Pulsed DC Magnetron Sputtering) 기술은 예금 필름의 품질을 극대화하고 넓은 기판 수용을 제공하도록 설계되었습니다. 대규모의 증착율 (deposition rate) 로, 높은 증착율 (deposition rate) 과 표면의 근본적인 균질성 (homogeneity) 은 더 많은 접착률과 좋은 품질의 필름을 제공합니다. 노력 8600 (Endeavor 8600) 에는 다양한 기판의 필름 증착률 (film deposition rate) 과 균일성 (unifority) 을 제어하기 위해 프로세스 최적화 기능을 완전히 통합 할 수있는 정교한 프로세스 제어 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 내장형 Endeavor 5500 CCD Camera 를 사용하면 초점 및 에지 추적 기능이 향상되어 복제 프로세스의 정확성이 높아집니다. 스퍼터드 필름 (SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600) 은 SiO 및 SiNx와 같은 유전체 필름에서 고귀하고 내화성 금속 (noble and refractory metal) 에 이르기까지 다양한 영화를 제공 할 수 있으며 사용자에게 도구 세트에서 사용 가능한 다양한 영화를 제공합니다. SFI는 특허를받은 X-Ray Source for Advanced Thin Film Process Control을 포함하여 다른 스퍼터링 머신과 분리되었습니다. 이 X-Ray 소스는 SFI Endeavor 8600에 통합되어 프로세스 제어를 돕고 스퍼터링 된 필름 (sputtered film) 에서 기판에 필름을 최소화 한 증착을 보장합니다. SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600은 알루미늄 베이스와 세라믹 부품 및 내부 레이어를위한 스테인리스 스틸 인클로저가있는 독립형 도구입니다. 에셋 (Asset) 에는 부스 없는 구성의 유연성을 제공하기 위해 전면 및 후면 에어 스트림에 최종 효능 서비스 도어가 포함되어 있습니다. Endeavor 8600은 스퍼터링 중에 반복성과 작동성을 보장하기 위해 24 시간 듀티 사이클로 설계되었습니다. 또한 SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600은 운영자에게 비상 정지 버튼, 스파크 억제기 및 비상 자동 셧다운과 같은 안전 및 비상 기능 세트를 제공합니다. 비상사태 (Emergency Features) 는 운영자의 안전을 보장하고 비상시 기판 (substrata) 을 최소화한다. 전반적으로 SFI Endeavor 8600 (SFI Endeavor 8600) 은 업계의 요구를 충족시키는 기능과 기능을 갖춘 인상적인 스퍼터링 모델입니다. 자체 포함 장비에 포함 된 SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600은 고급 박막 스퍼터링을위한 완벽한 선택입니다.
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