판매용 중고 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628674

ID: 293628674
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering system, 8" (4) Chambers CTI CRYOGENICS 9600 Compressor PC.
SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600은 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 정밀한 증착율 제어를위한 고급 폐쇄 루프 시스템 (closed-loop system) 과 최대 장치 성능을 위해 저진공 챔버 (low-vacuum chamber) 가 특징입니다. SFI Endeavor 8600은 자기적으로 향상된 박막 증착 기술을 사용하여 넓은 표면 영역에 높은 순도, 균일 한 레이어를 생성 할 수 있습니다. 다면체 자석을 통합하여 표적 물질을 정렬하고 집중하여 표적 침식을 줄이는 동시에 균일 한 증착을 가능하게합니다. 또한, 전류, 온도, 압력, 증착률과 같은 프로세스 매개변수를 모니터링하고 제어하도록 설계된 독점 소프트웨어가 사전 로드됩니다. SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600은 사용자 친화적이고 쉽게 작동 할 수 있도록 설계되었습니다. 단일 평면 테이블 (Single Plane Table) 을 통해 모든 컴포넌트에 대한 액세스를 용이하게 하며, 운영자는 시스템을 필요에 맞게 신속하게 구성하고 샘플 준비 및 대상 교체 (Target Replacement) 시 재료 손실을 최소화할 수 있습니다. 또한 프로세스 고정장치 및 챔버 벽에 I/O 회로가 통합된 지역화 된 동작 제어 도구 (Regionalized Motion Control Tool) 를 사용하여 빠르고 쉬운 유지 관리 및 수리 작업을 수행할 수 있습니다. Endeavor 8600 은 음극 온도, 펄스 전력, 펄스 시간 (pulse power, pulse time) 과 같은 다양한 프로세스 변수를 제공하므로, Sputtered Target Material 을 애플리케이션 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 전압 강하 (Voltage Drop) 를 방지하는 혁신적인 전력 공급 분배 자산 (Power Feed Distribution Asset) 이 특징이며, 균일성 문제와 기판 손상을 최소화하는 목표 성능 저하를 고려하여 자동으로 조정됩니다. SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600은 고급 박막 증착 모델로, 수많은 응용 프로그램을위한 고품질 영화를 제작할 수 있습니다. 정밀한 증착율 제어를 위해 저진공, 폐쇄 루프 (closed-loop) 장비와 일관된 박막을 보장하기 위해 빠른 응답 시간을 제공하는 펄스 파워 시스템 (pulse power system) 이 특징입니다. 통합 모션 제어 장치 및 지역화된 I/O 회로를 통해 사용 편의성과 유지 관리를 제공합니다. 또한, 프로세스 변수 (process variable) 및 조정 가능한 전원 공급 장치 (Power Feed Distribution Machine) 를 선택하여 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. SFI Endeavor 8600은 스퍼터링 요구에 이상적인 솔루션을 제공합니다.
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