판매용 중고 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628672
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ID: 293628672
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering system, 6"
(4) Chambers
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor
PC.
스퍼터 영화 INCSPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600은 박막 증착을 위해 설계된 전문 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 플라즈마 기반 스퍼터링 프로세스를 사용하여 박막을 기판에 배치합니다. 스퍼터링 공정은 진공 챔버에서 활기 넘치는 이온으로 기질 표면을 폭격하는 것을 포함합니다. 이 로 말미암아 원자 는 표적 물질 에서 방출 되어, 얇은 "필름 '으로 기판 표면 에 증착 된다. SFI Endeavor 8600 스퍼터링 장치 (Sputtering Unit) 는 박막 증착에 대한 높은 머신 성능과 더 큰 제어를 제공하는 고급 기능 세트로 설계되었습니다. 이러한 기능 중 하나는 도구의 RF 전원 제어 (Power Control) 로, 사용자가 스퍼터링할 재료와 일치하도록 전원 출력을 조정할 수 있습니다. 이를 통해 필름 두께와 증착률을 더 잘 제어할 수 있습니다. 또한 SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600에는 이중 단계, 다중 소스 RF 발전기가 포함되어 있어 전력 공급을 극대화하고 이온 에너지 확산을 줄입니다. 이 자산에는 10 챔버 스퍼터링 챔버 (Sputtering Chamber) 디자인이 포함되어 있으므로 처리량 및 최대 필름 품질을 향상시키기 위해 여러 레이어를 병렬로 배치 할 수 있습니다. 또한 모듈식 유연성을 위해 설계된 모델로, 최대 10 개의 프로세스 모듈, 1 개의 기계식 펌프 모듈 및 2 개의 냉각 시스템을 설치할 수 있습니다. 이것은 복잡한 필름과 특수 재료를 스퍼터링하기 위해 완전히 통합 된 장비를 제공합니다. 마지막으로, Endeavor 8600은 뛰어난 진공 기능을 제공하며 터보 분자 진공 펌프와 터보펌프 (turbopump) 가 사전 장착되어 있습니다. 이를 통해 스퍼터링 시간이 빨라지고 필름 특성을 더 잘 제어 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 손쉽게 유지 보수할 수 있도록 설계되었으며, 높은 신뢰성 구성 요소와 통합 안전 (Integrated Safety) 기능을 갖추고 있어 박막 증착에 이상적인 도구입니다. 결론적으로 SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600 스퍼터링 장치는 박막 증착을 위해 설계된 고급 기계입니다. 다양한 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능을 제공하여, 높은 도구의 성능과 필름 증착을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 자산은 복잡한 필름 (film) 과 특수 소재 (specialized material) 를 입금하는 데 적합하며 유지 관리 및 신뢰성이 향상되도록 설계되었습니다.
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