판매용 중고 SPTS / STS / TRIKON Sigma FxP #293824623
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ID: 293824623
웨이퍼 크기: 6"
PVD System, 6"
Brooks MX 800 Handler
(2) Cassettes
(2) Vacuum cassette elevators
Aligner
Topcooler
BROOKS Robot with dual arms
Metal blades
TURBO BALZERS TMH260 Vacuum cassettes
Handler
HSE Module
(3) Dep Modules
Configuration: CTI onboard cryo 8F
Controller
Windows NT PC with pentium processor
Windows NT Datalogger PC
BROOKS T5X Techware Express Handler computer
Front touchscreen, 17"
No SMIF
Power: 380 V AC, 3-Phase
(25) Wafer slots
(5) Chambers:
HSE Chamber
(3) Dep module chambers.
SPTS/STS/TRIKON Sigma FxP는 최첨단 박막 증착 기술을 나타내는 고급적이고 다용도 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 정확도, 효율성, 신뢰성이 가장 중요한 대용량 운영 환경을 위해 특별히 설계되었습니다. 반도체 제조, 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics), 광자 (photonics) 등과 같은 업계의 응용 분야에 이상적인 다양한 기능과 기능을 제공합니다. STS 시그마 FxP (STS Sigma FxP) 의 중심부에는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 가 있으며, 다수의 마그네트론 소스를 장착하여 매우 정확성과 균일성이 높은 기판에 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. 이러 한 "마그네트론 '원 들 을 개별적 으로 제어 할 수 있으므로 증착 과정 을 정확 하게 조정 하여 원하는" 필름' 의 특성 과 두께 를 달성 할 수 있다. 이 장치는 또한 안정적이고 반복 가능한 증착 결과를 보장하기 위해 실시간으로 키 매개 변수를 모니터링하고 조정하는 정교한 프로세스 제어 시스템 (process control machine) 을 갖추고 있습니다. SPTS Sigma FxP의 주요 강점 중 하나는 다재다능성과 유연성입니다. 이 도구는 DC 및 RF 스퍼터링 모드를 모두 지원하므로 금속, 산화물, 질화물 등 다양한 재료를 배치 할 수 있습니다. 또한, 자산은 다양한 크기와 모양의 기판을 처리 할 수 있으므로, 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 소형 반도체 웨이퍼 (wafer) 나 대형 유리 패널에 박막 (thin film) 을 배치해야 하더라도, Sigma FxP는 요구 사항을 충족할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다. 또한 트리콘 시그마 FxP (TRIKON Sigma FxP) 는 스퍼터링 기능 외에도 다양한 고급 프로세스 제어 및 모니터링 도구를 제공하여 증착 프로세스를 최적화하고 생산성을 향상시킵니다. 이 모델에는 사용자 정의 배치 레시피 (deposition recipe) 를 설계하고, 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고, 데이터를 분석하여 프로세스 최적화 (process optimization) 를 수행할 수 있는 종합적인 소프트웨어 제품군이 장착되어 있습니다. 이러한 자동화 및 제어 (automation and control) 수준은 인적 오류의 위험을 줄이고 일관되고 안정적인 증착 결과를 보장합니다. 또한 SPTS/STS/TRIKON Sigma FxP 는 필요에 따라 운영 용량을 손쉽게 확장할 수 있도록 확장성을 고려하여 설계되었습니다. 이 장비는 여러 공정 챔버 (process chamber) 로 구성할 수 있으며, 품질 저하 없이 기판의 병렬 처리 및 처리량 증가를 가능하게 합니다. 또한 이 모듈식 설계는 기술 발전에 따라 새로운 기능이나 기능으로 시스템을 손쉽게 업그레이드할 수 있게 해 주며, 고객의 투자가 미래형 (Future-Proof) 으로 유지되도록 합니다. 전반적으로, STS Sigma FxP는 최신 박막 증착 응용 프로그램의 까다로운 요구 사항을 충족시키기 위해 고급 기술, 다양성, 신뢰성을 결합한 최첨단 스퍼터링 장치입니다. 반도체 제조업체, 연구 기관, 산업 기업이든, SPTS 시그마 FxP (Sigma FxP) 는 오늘날의 경쟁 시장에서 앞서야 할 성능과 유연성을 제공합니다. 첨단 기능, 기능을 갖춘 이 머신은 혁신을 주도하고, 광범위한 업계에서 차세대 기술을 개발할 수 있게 되었습니다 (영문).
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