판매용 중고 SNTEK MSS 4000 #293638179
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ID: 293638179
빈티지: 2011
Sputtering system
Loadlock chamber and TM Arm concept
Metal sputtering process: Ti, Cu and Au
Maximum substrate: 320 mm (6) Loadings / Cassette
Magnetron sputtering source: (3) Tilt guns, 8"
Substrate rotation speed : 5~20 RPM
Maximum temperature sheath heater: 300°C on substrate
PLC Based PC Control: HMI, Semi-automation control
Compressed air drive: 6~7 kg/cm², ¼"
Chamber vent: 3~4 kg/cm², ¼"
Process gas: Ar, 1~2 kg/cm², ¼"
Chamber pump exhaust: Normal exhaust line, 25 pi
Vacuum pumping unit:
Rough pump: SUS304 E.P tube and bellows, 40 pi
Sputter chamber: TMP and Dry
Transfer chamber: TMP and Dry
Loadlock chamber: TM's share
Pressure control type: Downstream ( Auto TH/V)
Gas supply unit: MFC Control (Ar)
Cooling water:
Heater and chamber: 3~4 kg/cm², L/Min, ½"
Sputter gun: 3~4 kg/cm², L/Min, ½"
Electricity:
Power: 220 V, 3 Phase, 60 Hz, 120 A (3 wire)
Ground: Class A (10 Ω or below) (1 wire)
Power supply:
Main chamber: (3) DC Power, 5kW
Loadlock chamber: RF Power, 1kW
Plasma cleaning source with RF Power at loadlock system
2011 vintage.
SNTEK MSS 4000 스퍼터링 장비는 박막 및 코팅을 기판에 입금하도록 설계된 고 진공 증착 시스템입니다. MSS 4000은 트리오드 스타일의 마그네트론 스퍼터 (magnetron sputter) 구성을 사용하여 금속, 합금 및 매우 균일성과 반복성이 높은 다양한 재료를 배치 할 수 있습니다. 이 장치를 사용하여 박막, 벌크 코팅 및 레이어 구조를 만들 수 있습니다. SNTEK MSS 4000에는 10-7 torr까지의 압력과 최대 400 ° C의 온도에서 작동 할 수있는 2 개의 독립적 인 스퍼터 챔버가 장착되어 있습니다. 각 챔버 (chamber) 는 혁신적이고 구성 가능한 대상 어셈블리로 개별적으로 구성할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 다양한 대상 (target) 모양과 크기 중에서 선택할 수 있습니다. 대상 어셈블리 (Target assembly) 는 대상 서피스 (Target Surface) 의 마모를 균일하게 분산하기 위해 축에서 대상을 회전시킬 수도 있습니다. MSS 4000 은 다양한 옵션과 툴을 갖춘 포괄적인 프로세스 컨트롤러 (process controller) 에 의해 구동되어 증착 프로세스를 정확하게 제어하고 모니터링합니다. 프로세스 컨트롤러는 최적의 증착 성능을 위해 정확한 전력 및 가스 흐름 규제를 허용합니다. 또한 프로세스 컨트롤러 (process controller) 는 다양한 프로세스 매개변수를 등록 및 저장하여 예금 필름을 정확하게 분석 할 수 있습니다. SNTEK MSS 4000은 영화 분석 및 테스트를위한 다양한 다른 기기와 인터페이스 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 리모콘 (Remote Control) 및 절전 기능을 제공하여 에너지를 절약하고 전반적인 효율성을 향상시킵니다. 전반적으로 MSS 4000 스퍼터링 툴은 박막 (Thin film) 과 코팅 (coating) 을 정확한 제어 및 반복 가능성으로 증착하는 데 적합합니다. SNTEK MSS 4000 (SNTEK MSS 4000) 을 사용하면 다운타임과 자원을 최소화하면서 높은 균일성과 뛰어난 반복성을 지닌 영화를 제작할 수 있습니다. 또한, 자산은 다른 프로세스 기기와 쉽게 통합할 수 있으며, 사용자에게 완전한 프로세스 제어 옵션 (full suite of process control options) 을 제공합니다.
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