판매용 중고 SLOAN SL 1800-S #70881

ID: 70881
Automated DC sputter gun system. This system includes 3 sputter gun heads with Sloan Model SP 2/5 2kw power supply. The two part process chamber is l8" dia with the lower ss portion 11" deep, while the upper Pyrex collar and plexiglass implosion cage adds 6" to the overall depth. The pumping system consists of a Varian VHS6 diffusion pump rated at 2400 l/s, integral LN2 trap with controller, electropneumatic valves with Sequentorr II sequencer, ion gauge and a Welch 1397-17.7 CFM mechanical roughing pump. A Sloan Model DDC500 digital deposition controller with 3 sensor heads, shutter control and horizontal planetary are also included.
SLOAN SL 1800-S 스퍼터링 장비는 다양한 표면 코팅 응용 프로그램을위한 다용도 및 강력한 도구입니다. 이 "시스템 '은 정밀 한 조절 이 필요 한 공정 에 여러 가지" 스퍼터링' 기법 을 사용 하여 광범위 한 재료 를 배치 할 수 있다. "스퍼터링 '과정 자체 는 표적 물질 을 전자" 빔' 의 활기 있는 "이온 '으로 폭격 함 으로써 기화 시키는 것 과 관련 이 있다. 이로 인해 대상 물질은 미세한 입자 유사 원자 (particle-like atom) 를 생성 한 다음 챔버 가스 (chamber gas) 를 통과하여 기판 표면에 침전됩니다. 이 스퍼터링 유닛은 18 인치 직경의 벨 항아리 스타일 챔버 (bell-jar-style chamber) 를 특징으로하며, 회전하면서 기판 전체의 증착 균일성과 커버리지를 최대화하는 데 도움이됩니다. 또한 기판 온도, 압력, 조절 가능한 증착률 (adjustion rate) 을 정확하게 제어하여 고품질 균일 코팅을 증착 할 수 있습니다. SL 1800-S는 RF 에칭뿐만 아니라 DC, RF 또는 펄스 스퍼터링을 허용합니다. 이 기계에는 Argon 및 기타 가스와 같은 다양한 공정 가스 기능이 포함됩니다. 압력 을 정확 하게 제어 할 수 있으므로, "스퍼터 '율 을 정확 히 조절 해야 하는 과정 에 이상적 이다. 고급 컨트롤러는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 조절하는 데에도 사용되므로 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. SLOAN SL 1800-S의 강력한 증착 기능 외에도, 기판 조작을 허용합니다. 여기에는 기판을 이동, 기울이는 기능, 스퍼터링 대상 (Sputtering Target) 과 관련하여 기판 각도를 회전시키고 변경할 수있는 기능 등이 포함됩니다. 기질의 회전은 균일 한 코팅을 보장하는 데 유익합니다. SL 1800-S는 스퍼터 코팅 (sputter coating), 이온 보조 증착 (ion-assisted deposition) 또는 세라믹 레이어 제품과 같은 광범위한 표면 코팅 응용 분야에 적합한 선택입니다. 공정 매개변수 (process parameters) 의 정확한 제어 및 공구의 다양성을 통해 합리적인 속도로 고품질 코팅을 생성하는 데 이상적입니다. SLOAN SL 1800-S 는 비용 효율적이고 고성능 자산으로, 최신 코팅 애플리케이션에 적합한 툴입니다.
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