판매용 중고 SLOAN 1800 #293751854

SLOAN 1800은 고급 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 제조 공정에서 박막 증착을 위해 특별히 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 최첨단 시스템 - 최첨단 기술과 고급 자동화 기능을 결합하여 다양한 어플리케이션을 위한 정확하고 일관된 필름 품질 (film quality) 을 제공합니다. 1800 단위 의 핵심체 에는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 가 있는데, 이 약실 에는 금속, 산화물, 질화물 과 같은 여러 가지 물질 을 퇴적 시킬 수 있는 여러 개 의 음극 이 장착 되어 있다. 이중 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술은 대형 기판 크기에 걸쳐 높은 증착률과 뛰어난 필름 균일성을 보장하여 대용량 생산 환경에 이상적입니다. 이 기계에는 증착률, 필름 두께, 필름 구성 (film thickness) 등 주요 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정하는 클로즈드 루프 피드백 시스템 (closed-loop feedback system) 을 포함한 고급 프로세스 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이 제어 수준 (level of control) 은 예금 된 필름이 최첨단 반도체 장치의 제작에 필요한 엄격한 품질 표준을 충족시킵니다. 고급 프로세스 제어 기능 외에도, SLOAN 1800 툴은 높은 수준의 유연성과 확장성을 제공합니다. 자산은 레이어 두께와 컴포지션을 정확하게 제어하여 다중 계층 필름 (multi-layer film) 을 배치하도록 쉽게 구성 될 수 있으며, 반도체, 광전자, MEMS 산업의 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 1800 모델은 사용 편의성 (Euse and Maintenance) 을 위해 설계되었으며, 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 운영자가 신속하게 배치 프로세스를 설정하고 최적화할 수 있습니다. 통합 진단 및 예측 유지 관리 (Predictive Maintenance) 기능을 통해 다운타임을 최소화하고 무중단 운영 시 장비의 가동 시간을 극대화할 수 있습니다. 또한 SLOAN 1800 시스템 설계에서 안전은 가장 우선 순위이며, 작동 중 운영자와 장비를 보호하기 위해 인터 록 (interlock), 안전 센서 (safety sensor) 및 비상 정지 (emergency stop) 버튼과 같은 기능이 있습니다. 업계 표준과 규정을 준수하여 사용자의 안전한 작업 환경을 보장합니다 (영문). 전반적으로 1800 개의 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 고급 반도체 제조 공정에서 박막 증착을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 고성능 기능, 고급 프로세스 제어 (process control) 기능, 사용자 친화적 설계 기능을 갖춘 이 툴은 정확성과 신뢰성이 가장 중요한 대용량 운영 환경에 적합합니다.