판매용 중고 SHOWA VACUUM SPH-3022 #293649684

SHOWA VACUUM SPH-3022는 박막을 다양한 재료로 증착하도록 설계된 스퍼터 증착 시스템입니다. 이중 소스 스퍼터 증착 시스템이며, 소스 및 기판 증착을위한 독특한 디자인이 있습니다. 소스는 전기 자기 부양 로터 (E-Rotor) 이고 기질은 아노디 화 된 알루미늄 챔버입니다. E-Rotor는 단일 재료 또는 다중 계층 (multilayer) 재료를 기판에 배치하도록 설계되었습니다. E-Rotor는 2 개의 동심 로터로 설계되었으며, 각각 일정한 속도로 회전하여 증기상 기질 증착 반응을 생성합니다. E-Rotor는 재료와 두께의 조합이 다른 필름을 배치하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. anodized 알루미늄 챔버는 스퍼터링 과정에서 기판을 수용합니다. 이 제품은 최적의 기판과 소스 간 분리를 제공하도록 설계되었으며, 온도 조절 (temperate-controlled) 되어 원하는 온도 및 증착 조건을 유지합니다. 방에는 또한 샘플 홀더 (sample holder) 가 있으며, 이는 원하는 필름의 길이와 수에 따라 증착 사이클 당 최대 2 개의 샘플을 허용합니다. SPH-3022 스퍼터 증착 시스템 (sputter deposition system) 은 다양한 증착 조건에서 다양한 기판에 필름을 정확하게 배치 할 수있는 기능을 제공합니다. 소스 (source) 와 기판 증착 (substrate deposition) 모두에 대한 독특한 디자인은 다양한 재료 및 두께 조합을 가진 필름의 증착을 가능하게한다. anodized 알루미늄 챔버는 원하는 온도뿐만 아니라 최적의 기판에서 소스 간 분리를 유지하는 반면, 샘플 홀더는 사이클 당 최대 2 개의 샘플을 허용합니다. SHOWA VACUUM SPH-3022는 고도로 통제 된 스퍼터링이 필요한 산업 응용 프로그램을위한 귀중한 도구를 제공합니다.