판매용 중고 SHOWA SHINKU SRL-3320 #9078363

SHOWA SHINKU SRL-3320
ID: 9078363
빈티지: 2001
Sputtering system 2001 vintage.
SHOWA SHINKU SRL-3320은 고도의 다목적 스퍼터링 장비입니다. 증착 공정에서 스퍼터 (sputtered) 재료의 품질과 양을 최적화하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 양면, 8 헤드 스퍼터링 유닛이있는 4 축 선형 포지셔닝 단계로 구성됩니다. 따라서 최대 정밀도 및 생산 용량이 가능합니다. 기계는 두께가 0.02 ~ 3m인 요소, 화합물 또는 합금의 박막을 스퍼터링 할 수 있습니다. 또한 레이어 두께와 조성을 제어하여 복잡하고 다중 레이어 (multi-layer) 재료를 스퍼터팅 (sputter) 하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 자동 이미지 분석 도구 (Automated image analysis tool) 를 사용하여 균일한 레이어 두께, 정확한 컴포지션 제어 및 서피스 매끄러움을 보장합니다. 최고 품질의 결과를 얻기 위해 에셋의 매개 변수를 사용자 정의하고 조정할 수 있습니다 (영문). 이러한 매개변수에는 두께, 모양, 증착률 및 환경이 포함됩니다. 이를 통해 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한이 모델은 또한 증착 전 및 증착 후 치료를위한 추가 이온 빔 장비를 자랑합니다. 이 이온 빔 시스템은 고지향 에칭, 이온 이식, 증착 후 청소 등 다양한 치료에 대해 구성 될 수 있습니다. 이 장치는 이중 인터 록 (interlock) 및 플럭스 제한 밸브 (flux limiting valves) 와 같은 고급 안전 기능으로 완성됩니다. 즉, 사용 중인 경우 시스템이 안전하고 안전하게 보호됩니다. 또한, 이 도구에는 장비의 손상 및 분해를 방지하기 위해 부식 방지 코팅이 장착되어 있습니다. 전반적으로 SRL-3320은 다양한 프로세스에 이상적인 스퍼터링 자산입니다. 최대한의 정확성과 생산능력 (Production Capacity) 을 제공하며, 최상의 결과를 위해 매개변수를 완벽하게 제어하고 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 강력한 안전 (Safety) 및 보호 (Protection) 조치를 통해 사용자를 보호하고 운영 안정성과 효율성을 극대화할 수 있습니다.
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