판매용 중고 SHINCRON BSC-1943LT #9117834
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SHINCRON BSC-1943LT 스퍼터링 장비는 고성능 PVD 증착 시스템입니다. 그것 은 금속, 질화물, 합금 등 여러 가지 물질 을 여러 가지 기판 에 쌓아 놓을 수 있는 능력 을 가지고 있다. "깨어라!" 이 장치는 독특한 3 차원 자기장 균일성을 가진 수직 디자인을 사용합니다. 이 설계는 증착 공정의 더 나은 제어 및 균일성을 허용합니다. 이 기계는 의료 부품, 광학 필름, 평면 패널 디스플레이, 반도체 장치, 도구 및 기타 부품 용 마모 방지 코팅을 코팅하는 데 사용할 수 있습니다. 전자동 (Fully-Automated) 공정 챔버와 특허를 받은 직접 구동 선형 로봇 (Direct-Drive Linear Robotics) 을 사용하여 스퍼터링 대상을 정확하게 포지셔닝합니다. 이것은 최소한의 폐기물로 재료의 균일 한 분배를 보장합니다. BSC-1943LT 스퍼터링 도구에는 활성 가스 관리를 위해 직접 구동 대량 흐름 컨트롤러가있는 가변 압력 공정 챔버가 있습니다. 이를 통해 필름 증착 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 우수한 접착력과 균일성으로 0.5 m에서 40 jm 사이의 두께를 가진 필름을 증착 할 수 있습니다. 자산은 온도, 압력, 습도에 대한 챔버 수준의 제어를 제공하여 최적의 성능을 보장합니다. 강력한 진공 펌프 (vacuum pump) 와 가스 관리 모델 (gas management model) 을 장착하여 높은 증착률을 위해 진공 조임 환경을 만듭니다. 고급 디지털 디스플레이 패널은 모든 컨트롤러 기능을 하나의 사용자 친화적 인터페이스로 통합합니다. 이 장비는 모든 데이터 포인트를 모니터링하고 사용자가 배치 (deposition) 프로세스를 실시간으로 수정할 수 있도록 하는 프로세스 제어 모듈 (process control module) 을 갖추고 있습니다. 기판 처리가 용이한 자동 전송 시스템이 포함되어 있습니다. 이 장치에는 프로세스 챔버 과압 및 과열 방지를위한 고급 안전 기계 (Advanced Safety Machine) 가 있습니다. 결론적으로, SHINCRON BSC-1943LT 스퍼터링 도구는 매우 높은 정확도로 다양한 재료를 증착 할 수있는 고도의 PVD 증착 자산입니다. 이 모델에는 정교한 컨트롤러, 로봇 (Robotics), 공정 제어 모듈 (Process Control Module) 및 증착 공정의 뛰어난 통일성을 위한 안전 장비가 장착되어 있습니다. 뛰어난 필름 두께와 접착력을 제공하며 온도, 압력, 습도에 대한 챔버 수준의 제어를 제공합니다.
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