판매용 중고 SHINCRON BSC-19043LT #293608265

SHINCRON BSC-19043LT는 다양한 산업 및 과학 연구 응용 분야에 사용되는 이중 챔버 스퍼터링 장비입니다. 동일한 축에 장착 된 2 개의 증착 챔버 (deposition chamber) 로 구성되며, 전사 회전 암이 챔버를 분리합니다. 진공 조임 (vacuum tight) 물개는 챔버 사이에 배치되어 높은 진공 수준과 반복 가능한 공정 조건을 허용합니다. 이 시스템은 각 챔버에서 최대 6 개의 기판을 처리 할 수 있으며, 다양한 기판 크기와 두께를 지원하기 위해 맞춤 (tailoring) 할 수 있습니다. BSC-19043LT는 동시에 최대 4 종의 물질을 증착합니다. 이 단위의 고유 한 기능은 재료 배치 시퀀스를 2 개 또는 3 개의 재료, 또는 단일 재료의 시퀀스 레이어 (sequential layer) 로 구성하는 기능입니다. SHINCRON BSC-19043LT (SHINCRON BSC-19043LT) 는 기판 표면을 가로 질러 퇴적 된 필름의 뛰어난 균일성을 갖춘 독점적 인 이온화 된 디자인을 특징으로합니다. 이 우수한 균일성은이 스퍼터링 머신이 사용하는 조정 가능하고 역동적 인 부산물 억제에 기인합니다. 이온화 된 설계 및 동적 부산물 억제 (dynamic by-product suppression) 는 또한 증착 매개변수에 대한 프로세스 제어를 향상시킵니다. 운용 및 안전성을 위해 BSC-19043LT에는 운영자와 도구를 위험한 작업으로부터 보호하는 안전 인터 록 (Safety Interlock) 이 장착되어 있습니다. 챔버 사이에 위치한 HEPA 필터는 오염 물질을 효율적으로 펌핑합니다. 또한, 자산은 튜브 클리닝, 웨이퍼 베이킹, 분수 유지 보수 등 다양한 예방 유지 관리 옵션으로 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. SHINCRON BSC-19043LT는 또한 증착 과정에 대한 비교할 수없는 제어를 제공합니다. 이 모델은 고급 제어 기술 (Advanced Control Technology) 을 사용하여 압력 및 온도 센서를 사용하여 가스 흐름, 압력 및 기타 키 프로세스 매개변수를 정확하게 조절합니다. 이 미세 조정 된 제어는 프로세스 실행을 줄이면서 더 높은 수율과 향상된 필름 균일성을 초래합니다. 결국, BSC-19043LT는 다양한 기판 및 재료를 우수한 균일성 (unifority) 으로 처리 할 수있는 고급 이중 챔버 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템의 모든 기능과 기능을 결합하면, 재료 연구/증착 응용프로그램 (materials research and deposition application) 에 이상적인 선택입니다.