판매용 중고 SHIMADZU HSR-512A #9053824

SHIMADZU HSR-512A는 연구 및 상업 응용 분야의 다양한 스퍼터링 요구를 위해 설계된 SHIMADZU Corporation의 완전 자동화 스퍼터링 장비입니다. Sysrem은 조절 가능한 스캐닝 속도, 자동 두께 측정 기능으로 향상된 서피스 마무리 (surface finishing) 를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 다이오드 음극으로 구성되었으며, 두께를 측정하기 위해 단색 X 선 에너지 분석기를 사용합니다. 자동 깊이 보정 (automatic depth compensation) 을 활용하여 샘플과 대상 기판 간의 차이를 조정합니다. HSR-512A는 회전 및 선형 스퍼터링 기술을 사용하여 다양한 원하는 결과를 얻습니다. 둥근 증발 플랫폼이 있으며 DC 전원 공급 장치 (최대 800 VDC) 에서 전원을 공급받습니다. 챔버 내부에서 생성 된 진공은 기본 압력 3.7 × 10-7 Pa에 도달 할 수 있습니다. 냉각수 단위로 구성된 경우, 챔버 전체에서 온도를 제어 할 수도 있습니다. 기계는 광선 방전 (glow-discharge) 및 전자 백스캐터링 이온 소스를 사용하여 스퍼터링 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 도구는 사용자 친화적으로 설계되었으며, 프로세스를 제어하는 데 도움이 되는 컬러 터치 패널 (Color Touch Panel) 이 있습니다. 사용자 인터페이스는 가스 흐름 속도 (gas flow rate) 및 압력 (pressure), 스퍼터링 시간 (sputtering time), 기판 온도 (기판 온도) 와 같은 특정 매개변수를 설정할 수 있습니다. 또한 관련 매개변수와 함께 최대 50 개의 프로그램을 저장하는 프로그램 생성기가 있습니다. 더 나은 기능을 위해 워터 필터 에셋 (water filter asset) 과 같은 추가 구성 요소를 추가할 수 있습니다. 스퍼터링 기능 외에도 SHIMADZU HSR-512A는 매우 정확하고 재현 가능한 결과도 제공합니다. 단색 X- 선 에너지 분석은 코팅 두께를 ± 2 ~ 3% 의 정확도까지 측정 할 수 있습니다. 이 모델에서 수집 한 데이터를 사용하여 코팅 속도를 세트 범위 (set range) 내로 제어 할 수도 있습니다. HSR-512A는 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어하고 측정해야 할 때 효과적인 솔루션입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 정확한 읽기, 최대 50 개의 프로그램을 저장할 수있는 기능은 자동 스퍼터링 (sputtering) 장비로 두드러집니다. 이 시스템의 기능 조합은 스퍼터링 솔루션 (Sputtering Solution) 을 고려할 때 현명하게 선택할 수 있습니다.