판매용 중고 SHIBAURA SWN5000 #293634649

SHIBAURA SWN5000은 얇은 필름 웨이퍼를 생산하기 위해 반도체 산업에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터 (sputter) 는 유리, 플라스틱 또는 세라믹 표면과 같은 기판에 얇은 층을 배치하는 과정입니다. 스퍼터 공정은 전자 마이크로 회로, 광학 장치, 의료 임플란트 및 기타 마이크로 칩에 사용됩니다. SWN5000은 8 상 전원 공급 장치와 고해상도 DC 전원 제어 모듈과 함께 제공되는 고정밀 스퍼터 시스템입니다. 이것 은 "스퍼터 '를 한" 코우팅' 이 균일 한 증착율 을 가지게 하여 기판 에 균질 한 물질 층 을 만든다. SHIBAURA SWN5000 (SHIBAURA SWN5000) 의 제어 단위는 또한 다양한 펄스 스퍼터링 (pulse sputtering) 조건을 허용하며, 코팅의 원하는 재료와 두께에 따라 다른 결과를 제공하도록 조정할 수 있습니다. 이 기계 는 또한 매우 작고, 정확 한 "패턴 '과 다른 복잡 한 모양 을 만드는 데 사용 할 수 있는 높은 수준 의 정확도 를 지니고 있다. SWN5000은 독립적 인 가장자리 유형 쉴드 전극이있는 선형 모양의 마그네트론 스퍼터링 음극을 사용합니다. 이 유형의 구조는 더 균일 한 스퍼터링 (sputtering) 과 종횡비가 높은 지역의 더 정확한 증착을 허용합니다. 더욱이, 공구는 다양한 필름 증착 패턴을 달성하기 위해 다양한 펄스 지속 시간, 펄스 파워 및 펄스 주파수를 생성 할 수있다. SHIBAURA SWN5000에는 세라믹 코팅 된 석영 도가니 한 쌍이 장착되어 있으며, 이는 금, 몰리브덴, 알루미늄 또는 텅스텐과 같은 표적 재료를 스퍼터링하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 압력 제어 밸브 (pressure-control valve), 온도 센서 및 온도 제어 장치 (temperature control unit) 를 사용하여 사용자는 공동의 압력과 온도를 조절하여 일관되고 신뢰할 수있는 프로세스를 보장 할 수 있습니다. SWN5000 은 수냉식 (water-cooling) 과 인터 록 (interlock) 과 같은 다양한 안전 기능을 제공하여 원치 않는 변조를 방지합니다. 또한 공기 입자를 대피시키는 배기 매니 폴드와 함께 제공됩니다. 전반적으로 SHIBAURA SWN5000은 스퍼터 코팅 박막 웨이퍼를위한 효율적이고 안전하며 신뢰할 수있는 자산입니다. 고급 (Advanced) 기능을 사용하면 광범위한 대상 재료와 기판으로 고정밀도 (high-precision) 결과를 얻을 수 있습니다.