판매용 중고 SEMICORE SC9900 #9213729

SEMICORE SC9900 Sputtering Equipment는 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 멀티 타겟 로드 잠금 스퍼터링 시스템입니다. 멀티 모드 스퍼터링 (multimodal sputtering) 기술의 최신 발전을 통해 넓은 지역에 걸쳐 높은 속도로 균일 한 박막 코팅을 제공합니다. SC9900 은 다양한 워크로드를 처리하도록 설계되었으며, 반복 가능하고 일관된 운영 결과를 제공합니다. 스퍼터링 유닛 SEMICORE SC9900에는 2 개의 음극이있는 1 개의 로드 잠금 진공 챔버가 있습니다. 여러 개의 회전 가능한 타겟을 갖춘 특허받은 멀티 타겟 스퍼터 소스 (multi-target sputter source) 기술을 통해 여러 개의 금속 레이어를 하나의 처리 주기에 배치할 수 있습니다. 이 기계에는 각각 2 개의 증착 프로세스에 최적화 된 3 개의 개별 프로세스 모듈 (단일 및 이중 음극 마그네트론 및 트리오드 스퍼터링) 이 있습니다. 이 도구에는 2 음극 반응성 스퍼터링을위한 2 개의 아크 소스도 있습니다. SC9900에는 맞춤형 12 표적 스퍼터 건도 있습니다. 총은 인체 공학적이며, 최적화 된 챔버 접근과 음극의 최소 소음을위한 직접 하향 사료를 제공합니다. 멀티 타겟 스퍼터 소스는 대형 기판에 일관된 코팅 성능과 균일 한 코팅을 제공합니다. 총은 0 ° ~ 30 ° 의 조절 가능한 스퍼터 각도와 2 개의 독립 샤워 헤드 노즐 (스퍼터링 된 재료 방향 제어를 개선하기위한 조정 가능한 구성) 을 갖습니다. 스퍼터 에셋 내부의 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 낮은 통나무 마모와 우수한 입자 오염 제어를 위해 희생 물질로 구성됩니다. 고성능 펌핑 시스템, 875 ° C로 가열 된 쿼츠 기판 척, 진공 잠금 챔버, 5 위치 가스 박스 및 가스 혼합 매니 폴드가 장착되어 있습니다. 이 모든 장비는 증착율을 높이고 반복 가능한 프로세스 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 세미코어 SC9900 (SEMICORE SC9900) 은 고급 사용자 친화적 인터페이스로, 우수한 그래픽 및 프로그래밍 가능한 레시피로 설계되어 프로세스 매개변수를 최대한 제어할 수 있습니다. 이 모델의 크기는 컴팩트하며, 에너지 효율성이 뛰어나고 유지 관리 요구 사항이 단순합니다. 이러한 모든 기능을 통해 SC9900 Sputtering Equipment는 인라인 스퍼터링 시스템을 위한 탁월한 선택이 가능합니다. 높은 증착율 (high deposition rate) 과 소형 설계 (compact design) 를 통해 대형 기판 및 장치에 다수의 금속 및 산화물 층을 단일 처리 주기로 증착시키는 데 이상적입니다. 사용자 친화적인 인터페이스, 통합 시스템 구성 요소, 프로세스 일관성 향상, 이 장치는 다양한 기판을 균일하고, 안정적이며, 반복 가능한 결과로 코팅하는 데 적합합니다.