판매용 중고 SEMICORE / MRC SEC-643 #9250939

SEMICORE/MRC SEC-643은 반도체 증착 응용을 위해 설계된 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 스퍼터링 장비입니다. 고속 증착이 가능한 4 개의 고성능 Schottky 이온 소스가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 다양한 전원 공급 장치 구성이 있어, 최대 수준의 제어 및 유연성을 제공합니다. 다양한 증착 기술을 위해 최대 450W 전력을 공급할 수 있습니다. MRC SEC-643에는 2 개의 대형 대상 플랫폼이 장착되어 있으며, 최대 4 개의 필름을 동시에 증착 할 수 있습니다. 또한, 표적은 최대 등각 성장을 위해 어떤 방향으로든 회전 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 조정 가능한 챔버 압력 제어 (chamber pressure control) 를 특징으로하여 최적의 프로세스 조건을 가능하게하여 최고 품질의 필름을 보장합니다. SEMICORE SEC-643 기계는 증착 프로세스에 Class 1 청소 환경을 제공합니다. 이 도구에는 증기 캡처 자산, 힘 흐름 모델 및 고용량 여과 장비가 포함됩니다. 증기 포획 시스템은 최소 증기 손실을 보장하는 반면, 힘 흐름 장치는 고효율 미립자 공기 (HEPA) 필터를 통해 챔버 공기를 필터링합니다. 대용량 여과 기계에는 깊은 주름 필터와 딥 베드 활성화 탄 필터가 포함됩니다. SEC-643 툴에는 안정성, 깨끗한 챔버 로딩 및 효율적인 샘플 교환을 위한 초저진동 견고한 로드 잠금 (Rock) 이 포함되어 있습니다. 간편한 시동 및 유지 보수가 가능하여 다운타임을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 자산에는 직관적 인 터치 스크린 HMI (touch-screen HMI) 와 임베디드 레시피 및 프로파일링 알고리즘을 포함한 다양한 레시피 제어 옵션이 있습니다. SEMICORE/MRC SEC-643 스퍼터링 모델은 반도체의 고해상도 증착을위한 안정적이고 효율적인 장비입니다. 다양한 전원 공급 장치 구성, 조절 가능한 챔버 압력 제어 (Chamber Pressure Control) 및 견고한 로드 잠금 (Load Lock) 기능을 통해 다양한 증착 기술을 위한 탁월한 성능을 제공합니다.