판매용 중고 RSI / VANGUARD Sencera #9300991

ID: 9300991
In-line sputtering system (6) Target large panels Vacuum pump Turbo pump RF and DC Power supply Qty / Make / Model / Description / Part Number (4) / ADVANCED ENERGY / Pinnacle 3152442-102D / Generators / - (2) / MKS / optima RPG-50Z / DC power supply / RPDG-50Z-10237 (1) / MKS / optima DCG-200Z / DC power supply / RPDG200Z-08055 (1) / ADVANCED ENERGY / MDX / 2011-000-AA / Magnetron Drive / - (1) / ADIXEN / AD30KL / Dry pump / - (1) / BOC EDWARDS / STP-iXA2206C / Turbomolecular turbo pumps / - /  YT81-0Z-010 controller (2) / BOC EDWARDS / STP-iXA2205CP / Turbomolecular turbo pumps / - / iPS-1200 YT63-W1-Z10 & Z00 controller (1) / VAT / 65048-PAAP-BAS2/0001 A-1799517 / Vacuum Pendulum Control Valve / - (1) / VAT / 65048-PAAP-BAS1/0002 A-973785 / Vacuum Pendulum Control Valve / - (1) / VAT / 12148-PA24-AKW1/0005 A-977764 / Vacuum Pendulum Control Valve / - (1) / VAT / 12148-PA24-AKW1/0006 A-97776 / Vacuum Pendulum Control Valve / - (1) / ALLEN BRADLEY / 1734 / Processors and I/O / - (1) BROOKS AUTOMATION / MFC / Delta Series / -.
RSI/VANGUARD Sencera는 박막 증착 및 코팅 응용 프로그램을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 그것은 2 개의 극저온 냉각 음극을 사용하여 높은 진공 환경에서 음극 표적 (cathode target) 으로부터 물질을 증발시키고, 그 후 기질에 침전된다. 증발 된 물질은 일반적으로 티타늄, 알루미늄, 크롬 또는 철이며, RSI Sencera 시스템은 초당 최대 2 개의 옹스트롬을 증착 할 수 있습니다. VANGUARD Sencera에는 재료 이온화의 방향과 에너지를 제어하기위한 2 극 스퍼터링 모드가 있습니다. 이 모드는 균일 한 증착 및 코팅, 낮은 스패터링 및 낮은 기생 재개 처리에 도움이됩니다. 이 장치에는 하전 입자의 이온화를 제어하기위한 내부 자석 (internal magnet) 과 균일 한 커버리지를 보장하기위한 주파수 스윕 생성기 (frequency sweep generator) 도 포함되어 있습니다. "센세라 '기계 에는 소형 증착실 과 높은 진공 환경 을 조성 하기 위한 산업 등급 진공" 펌프' 가 들어 있다. 약실 에는 기판 을 둘러싸고 있는 전극 이 장착 되어 있어서, 증발 된 물질 을 표적 으로 삼고 "온도 '를 측정 한다. 약실의 온도는 모니터링하고 섭씨 5 ~ 40 도까지 제어 할 수 있습니다. RSI/VANGUARD Sencera (RSI/VANGUARD Sencera) 는 다양한 작동 모드를 갖춘 사용자 친화적 인터페이스로, 원하는 결과를 산출하는 실험을 쉽게 리콜 할 수 있도록 사전 설정 모드를 포함합니다. 프로그래밍 가능한 속도 피더를 사용하면 증착률 (deposition rate) 과 같은 스퍼터링 프로세스 매개 변수를 더 정확하게 결정할 수 있습니다. 이 도구에는 과전압 보호 및 전원 차단 등의 내장 안전 기능도 포함되어 있습니다. 전반적으로 RSI Sencera 자산은 박막 증착 및 코팅 응용 프로그램을위한 뛰어난 스퍼터링 모델입니다. 자석 (Magnet) 과 주파수 스윕 (Frequency Sweep) 기술은 높은 증착율과 균일 한 이온화를 가능하게하며, 친숙한 인터페이스와 조절 가능한 온도 조절은 쉽게 사용할 수 있습니다. 또한, 내장 안전 기능으로 인해 반복 가능한 실험을 통해 재생성 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
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