판매용 중고 ROBUST 300 #293596982

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스퍼터링 시스템
제조사
ROBUST
모델
300
ID: 293596982
웨이퍼 크기: 12"
PVD Sputtering system, 12" Chamber Chiller (2) Loadports (5) Pumps Robot RF Generator rack Voltage box.
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견고성 300 (ROBUST 300) 은 정확한 제어 및 정확성으로 증착율을 안정적으로 제공하도록 설계된 산업용 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 강력한 3 표적 DC 스퍼터링 소스를 특징으로하며, 이 소스는 몇 나노 미터 (nanometer) 만큼 얇은 기판에 재료 층을 배치하는 데 사용될 수 있습니다. 이 장치는 통합 가변 주파수 (variable frequency) 드라이브 덕분에 다양한 온도에서 작동 할 수 있으며, 최대 600 ° C의 온도를 처리 할 수 있습니다. PLC (programmable logic controller) 에 의해 제어되며 반복 가능한 프로세스에 대해 완전히 자동화 될 수 있습니다. 기계는 공정 챔버, 터보 분자 펌프 및 3 표적 마그네트론 스퍼터링 소스로 구성됩니다. 공정 챔버는 등급 임피던스 (Graded-impedance), 전체 마그네트론 입구 (full-magnetron-entrance), 다중 펄스 소스를 사용하여 전체 기판 또는 가공소체에서 프로세스 균일성을 최대화하도록 특별히 설계되었습니다. 터보 펌프 (turbo pump) 는 효율적이고 에너지 절약이 뛰어난 진공 품질을 보장합니다. 3 표적 마그네트론 스퍼터링 소스는 300 개의 심장으로, 활기찬 이온 폭격을 생성하고 균일 한 필름 접착력을 제공 할 수있는 강력한 도구 구성을 특징으로합니다. 또한, 공정 챔버에는 소음 억제 메커니즘과 간섭없는 (interference-free) 작동이 장착되어 있어 가혹한 산업 환경에서 사용할 수 있습니다. 이 자산은 안정성이 높고 사용이 간편하며, 견고한 (ROBUST) 설계로 고정밀 코팅 (coating) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 모델은 도입 이후 ASEP 인증을 받았으며, 정확성, 화학 및 물리적 안정성, 장비 수명을 보장합니다. 또한, ROBUST 300 은 다양한 액세서리 및 소프트웨어와 통합되어 전체 스퍼터링 프로세스를 자동으로 제어할 수 있습니다. 요약하자면, 300 은 업계 응용프로그램의 정확한 요구 사항을 충족하도록 설계된, 안정적이고 강력한 스퍼터링 시스템입니다. 소음 억제 장치 (noise suppression unit), 효율적인 터보 펌프 (turbo pump) 및 ASEP 인증 머신 (ASEP certified machine) 과 같은 기능을 통해 산업 사용자의 고정밀 코팅 요구에 대한 안정적이고 정확한 솔루션을 제공합니다.
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