판매용 중고 QUORUM TECH / BIO-RAD / POLARON Range #293830731

ID: 293830731
Evaporator Turbo pump (orange and green light on the right) Illuminated button Non-functioning glow-discharge system.
QUORUM TECH/BIO-RAD/POLARON Range는 다양한 연구 및 산업 응용 분야에서 박막 증착을 위해 설계된 일련의 고급 스퍼터링 시스템입니다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 널리 사용되는 PVD (physical vapor deposition) 기술로, 에너지성 이온으로 대상 물질을 폭격하여 표면의 원자 또는 분자를 배출하고, 이어서 기질로 응축하여 박막을 형성합니다. BIO-RAD Range는 필름 두께, 구성 및 특성을 정확하게 제어하여 재료 과학, 나노 기술 및 반도체 제조에 필수적인 도구입니다. POLARON Range의 주요 구성 요소에는 진공 챔버, 스퍼터 대상, 기판 홀더, 가스 처리 장비, 전원 공급 장치 및 제어 장치가 포함됩니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 오염을 예방하고 균일 한 필름 성장을 촉진하기 위해 높은 진공 환경을 유지하는 은밀하게 밀봉 된 인클로저입니다. "스퍼터 '표적 은 전형적 으로 증착 될 물질 로 만들어지며" 이온' 과 함께 폭격 되어 원자 나 분자 를 방출 시킨다. 기판 홀더는 기판을 챔버에 안전하게 배치하고 회전 (rotate) 하거나 기울어 균일 한 필름 증착을 보장 할 수 있습니다. 가스 처리 시스템 (gas handling system) 은 필름 특성을 수정하기 위해 비활성 또는 반응성 가스를 챔버에 도입하도록 제어합니다. 전원 공급 장치는 고압 펄스를 제공하여 가스를 이온화하고 목표를 향해 이온을 가속시킵니다. 제어 장치는 정확하고 재현 가능한 필름 증착을 위해 모든 단위 매개변수를 감독하고 조정합니다. QUORUM TECH Range는 DC 마그네트론 스퍼터링, RF 마그네트론 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 및 펄스 DC 스퍼터링을 포함한 광범위한 스퍼터링 기술을 제공합니다. 직류 마그네트론 스퍼터링 (DC magnetron sputtering) 은 DC 전원을 사용하여 표적으로부터 플라즈마와 스퍼터 물질을 생성하는 단순하고 효율적인 프로세스입니다. RF 마그네트론 스퍼터링은 이온화 및 제어 필름 특성을 향상시키기 위해 방사능 전력을 사용합니다. 반응성 스퍼터링은 산소 또는 질소와 같은 반응성 기체를 도입하여 화합물 또는 합금 필름을 형성하는 것을 포함한다. 펄스 DC 스퍼터링은 고 전압의 짧은 펄스를 사용하여 높은 필름 밀도와 접착을 달성합니다. QUORUM TECH/BIO-RAD/POLARON Range는 실리콘, 유리 및 유연 기질과 같은 기판에 금속, 산화물, 질화물 및 반도체를 포함한 다양한 재료를 매장하기에 적합합니다. 기계 는 몇 "나노미터 '에서" 마이크로 미터' 에 이르는 정확 한 두께 조절 을 한 박막 을 만들 수 있다. 퇴적 된 필름은 특정 응용에 맞춘 우수한 접착, 균일 성, 밀도 및 광학, 전기 및 기계적 특성을 나타낸다. BIO-RAD Range에는 쿼츠 결정 마이크로 밸런스 또는 분광형 타원법, 내부 기판 가열 또는 냉각, 기체 흐름 속도 및 압력의 실시간 제어, 정밀 필름 패턴에 대한 필름 두께의 인사이트 모니터링 등 필름 품질 및 증착 속도를 최적화하는 고급 기능이 있습니다. 이 툴은 데이터 수집, 분석, 프로세스 최적화를 위한 정교한 소프트웨어로 보완됩니다. 결론적으로 POLARON Range는 다재다능하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 자산으로, 연구자와 제조업체는 전자, 광학, 센서 및 코팅에서 광범위한 QUORUM TECH RANGE 응용 프로그램을위한 맞춤형 속성을 갖춘 고품질 박막을 만들 수 있습니다. 고급 기능, 정확한 제어 기능, 사용자 정의 가능한 기능으로 인해 박막 증착 (Thin film deposition) 및 재료 과학 분야에서 필수 불가결한 도구가되었습니다.
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