판매용 중고 QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4 #177173

QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4는 고효율 스퍼터링 장비로, 다양한 재료와 어플리케이션에 적합합니다. 열 효율성, 내구성, 사용 편의성에 중점을 두고 설계되었으며, 이는 생산, 연구, 개발에 이상적인 선택입니다. 머큐리 4 (Mercury 4) 의 핵심은 스퍼터 음극이며, 진공 밀봉 된 갈바노미터와 정확하고 낮은 진공 스퍼터링을위한 강력한 마그네트론 소스를 특징으로합니다. 음극의 고출력과 스퍼터 레이트 (sputter-rate) 는 중금속 (heavy metal) 과 기타 스퍼터 (sputter) 를 사용하여 작업해도 강력한 성능과 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템에는 전체 스퍼터링 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 온도 제어를 보장하기 위해 Dewar-cooled target chamber가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 처리 중에 대상 재료가 손상되지 않습니다. 또한 QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4에는 챔버의 진공 밀봉과 함께 수냉식 벽 및 표준 구성에서 500L/min 이상 대피 할 수있는 진공 펌프가 포함되어 있습니다. 수은 4의 고정밀 컨트롤은 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 장치는 다중 계층에 대한 복잡한 레시피를 따르고, 지속적으로 DC 및 RF 바이어싱을 유지 할 수 있으며, 고밀도 및 용융점 금속, 유기, 유기/무기 하이브리드, 고온 초전도체. QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4에는 유출 방지 대피를위한 게이트 밸브, 게이트 밸브가 열려 있고 전원 공급 장치 고장 방지 장치 (Power Supply Failure Protection Machine) 가 있을 때 방전 전압을 차단하는 자동 인터 록 (Interlock) 을 포함하여 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 또한, 소프트웨어는 안전 시작 (Safe Start) 과 같은 포괄적인 안전 및 보호 기능 (예: 프로세스가 시작되기 전에 확인해야 하는 각 주기의 시작 (시작) 및 끝 (end) 에 대한 권한 요청) 을 제공합니다. 제어 매개 변수를 변경하기 전에 대상 재설정 지연; 프로세스 사이클이 끝날 때 챔버 압력의 자동 제어; 그리고 자체 구성 매개 변수. 전반적으로, 머큐리 4 (Mercury 4) 는 전력, 반복성 및 안전성을 완벽하게 조합하여 모든 유형의 재료와 용도에 이상적인 선택입니다.