판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS Clusterline 300 #9123065

PLASMATHERM/UNAXIS Clusterline 300은 안정적이고 고급 스퍼터링 장비입니다. 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 에 의한 박막 금속, 절연 및 반도체 재료의 증착을위한 포괄적 인 시스템입니다. 이 장치는 한 번에 4 개의 8 "기판 또는 2 개의 12" 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 컴팩트한 디자인으로 탁월한 성능과 비용 효율성을 제공합니다. 이 기계는 자동화된 재료 증착 공정과 수치 PLC 제어 도구를 사용한 지능형 모니터링을 특징으로합니다. 최적화된 기판 기반 동작 및 고급 프로세스 매개변수 제어를 사용합니다. 또한, 자산에는 균일 한 재료 증착을 보장하기 위해 이중 마그네트론 소스가 장착되어 있습니다. 이 모델에는 향상된 단계 적용 범위를 위해 회전 보조 및 하이브리드 (플라즈마) 소스도 포함됩니다. UNAXIS Clusterline 300에는 광범위한 통합 소스 및 기판 재료가 장착되어 있습니다. 여기에는 금속, 절연체, 광학 코팅 및 PECVD- 폴리머가 포함됩니다. 이 장비는 또한 고급 온도 조절 시스템 (Advanced Temperature Control System) 과 고급 온도 모니터 (Advanced Temperature Monitor) 를 갖추고 있어 전체 장치의 정확하고 안정적인 온도를 보장합니다. PLASMATHERM Clusterline 300은 또한 혁신적인 고급 기판 청소기를 갖추고 있으며, 이는 최고 품질의 박막 증착을 보장합니다. 이 도구는 또한 피드 스루 (feed-through), 오염 (contamination) 및 그림자 (shadowing) 를 줄이고 4 개의 기판 모두에서 균일 한 두께를 보장합니다. 또한이 자산에는 실시간 박막 모니터링을위한 고급 QTTR (Quasi-Total-External-Reflectometer) 이 있습니다. Clusterline 300 은 유연하고 고성능 모델로, 박막 증착을 위한 최고의 생산성을 제공합니다. 신뢰할 수 있고 비용 효율적이며 기계 수명이 길다.