판매용 중고 PLASMA SCIENCES HRC 200 #10010

ID: 10010
웨이퍼 크기: 8"
table top sputtering system, 8" Turbo Pump 15 minute pump down time to 5x10e-5 torr Does not have a power supply Requires either a DC power supply or a RF power supply Power supply should be 200-300 watts.
PLASMA SCIENCES HRC 200 (PLASMA SCIENCES HRC 200) 은 다양한 응용을위한 광범위한 재료를 증착 할 수있는 다목적, 소형 고율 스퍼터링 시스템입니다. 디스크 드라이브 헤드 레이어, 기판, MOS/MEMS, 하이엔드 가전제품 등 많은 애플리케이션에 필요한, 장기적인 반복성과 균일성을 통해 높은 수준의 증착을 실현할 수 있습니다. HRC 200은 방사형 마그네트론 스퍼터링 기술을 기반으로 알루미늄, 스테인리스 스틸, 쿼츠, 유리, 실리콘 등 다양한 기판에 비자기 물질을 침전시킵니다. 이러 한 기술 의 장점 은, 넓은 면적 과 작은 면적 의 "코우팅 '과 매우 얇고 매우 균일 한 층 의 증착" 코우팅' 을 가능 케 한다는 것 이다. HR-200은 다양한 금속, 도자기 및 기타 물질 (예: 산화 알루미늄, 크롬, 티타늄, 질화 실리콘, 산화철 및 기타 많은 화합물) 을 증착 할 수 있습니다. 또한 IPVD (ionized physical vapor deposition) 및 HIPIMS (high power impulse magnetron sputtering) 와 같은 다양한 고급 기술을 사용합니다. 그것의 고급 플라즈마 소스 (advanced plasma source) 는 매우 균일 한 층의 증착을 가능하게하며, 특히 큰 기판에서 높은 균일성을 갖는다. HR-200은 또한 고급 제어판, 온도 및 압력 모니터링 시스템을 사용하여 균일하고 반복 가능한 증착을 보장합니다. 이 시스템은 균일성이 뛰어난 대형 기판에서 저렴한 코팅을 위해 설계되었습니다. 작은 설치 공간과 경량 (lightweight) 구조로 인해 수송이 매우 쉬워지고 실험실이나 산업용 (industrial use) 에 적합합니다. PLASMA SCIENCES HRC 200은 챔버 압력 및 증착률을 자동으로 모니터링하여 사용하기 쉽고 유지 관리합니다. 또한 대형 기판에 대한 균일성을 향상시키기 위해 통합 된 기판 간 회전 시스템을 포함합니다. 또한, 인터넷 접속을 통해 거의 모든 운영 및 조건을 원격으로 모니터링하고 관리할 수 있습니다. 전반적으로, HRC 200은 뛰어난 균일성과 반복성을 가진 금속 및 금속-산화물 물질의 고속 스퍼터링에 이상적인 솔루션입니다. 다양한 어플리케이션을 위한 강력하고, 작고, 유연한 코팅 솔루션을 제공합니다. PLASMA SCIENCES HRC 200은 고급 기술과 원격 모니터링을 활용하여, 뛰어난 반복성과 균일성을 갖춘 안정적이고 반복 가능한 증착 프로세스를 제공합니다.
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