판매용 중고 PLASMA SCIENCES Arc #9012320

PLASMA SCIENCES Arc는 다양한 기판에 박막 증착에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 증착 기술은 자기 강화 아르곤 가스를 사용하여 매우 균일 한 스퍼터링 프로세스를 만듭니다. 아크 (Arc) 는 전통적인 스퍼터링 시스템과 비교할 때, 다양한 산업 응용 분야에 적합한 독특한 물리적, 화학적 특성을 가진 영화를 제작 할 수 있습니다. PLASMA SCIENCES Arc는 챔버, 음극 및 양극으로 구성됩니다. 음극은 일반적으로 원자로 내부에 내장되고, 양극은 챔버 외부에 확장되며, 자기장 코일 (magnetic field coil) 을 함유한다. "아르곤 '혹은" 아르곤' 과 반응성 "가스 '의 혼합물 이 공정" 가스' 로 사용 된다. 자기 "코일 '은" 아르곤' "이온 '의" 에너지' 를 아주 활기 넘치는 작은 반점 에 집중 시키는 강력 한 자기장 을 발생 시킨다. 이 증가된 에너지는 스퍼터 효율성을 향상시키고 두께가 균일한 고품질 필름을 만드는 데 도움이됩니다. 아크는 도자기, 금속, 유기 중합체, 반도체, 유리 재료 등 다양한 기판에 박막을 증착 할 수 있습니다. 필름은 저온 환경 (일반적으로 30C 미만) 에 침전되어 기판에 대한 열 효과를 최소화하는 데 도움이됩니다. 이 시스템으로 생산 된 필름은 낮은 입자 오염으로 인해 반도체 (semiconductor) 와 광학 장치 (optical device) 생산에 이상적입니다. PLASMA SCIENCES Arc는 산화물, 질화물 및 금속과 같은 전도성 및 비전도 물질을 모두 증착 할 수 있습니다. Arc는 자동 프로세스 제어 장치 (Automated Process Control Unit), 통합 엔드 포인트 탐지기, 강력한 안전 인터 록 (Safety Interlock) 등 여러 가지 추가 기능을 제공합니다. 이 고급 도구는 높은 스퍼터 레이트 (sputter rate), 균일하고 일관된 필름 증착을 제공하며 다양한 응용 프로그램에 고품질의 박막 (thin film) 을 생산할 수 있습니다. 저온 증착 (low temperition deposition) 과 다양한 기판과의 호환성을 통해 고급 전자 장치 (electronic device) 와 광학 장치 (optical device) 의 생산에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.