판매용 중고 PLASMA QUEST S5000 #293671000

PLASMA QUEST S5000 (PLASMA QUEST S5000) 은 스퍼터링 장비 (sputtering equipment) 로, 진공 증착 장비의 한 유형이며 재료의 얇은 필름을 기판에 배치하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 높은 진공 상태에서 기판과 대상을 모두 처리 할 수 있으며 저압 증착 응용을위한 저압 공정 챔버 (옵션) 를 갖추고 있습니다. S5000 스퍼터링 장치 (Sputtering Unit) 는 처리하는 동안 뛰어난 성능을 제공하기 위해 고품질 재료와 컴포넌트로 구성됩니다. 이 기계는 초고 진공 챔버, 고 진공 코터/스퍼터 챔버, 플라즈마 챔버, 공정 챔버 등 4 개의 개별 챔버로 구성됩니다. 진공 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 최대 1 x 10-9 Torr의 진공 레벨 등급입니다. 스퍼터 음극은 텅스텐으로 만들어졌으며 AC 전원 공급 장치로 구동됩니다. 스퍼터 건 (Sputter Gun) 은 목표 및 기판 위치를 독립적으로 제어할 수 있도록 설계되어, 웨이퍼에 대상 재료를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 도구에는 RF 플라즈마 발전기 (Plasma Generator) 와 플라즈마 모니터링 자산 (Plasma Monitoring Asset) 이 장착되어 있어 증착과 제어가 정확합니다. PLASMA QUEST S5000은 멀티 챔버 디자인과 저압 공정 챔버 (옵션) 덕분에 다용도가 뛰어납니다. 이를 통해 스퍼터 증착, 산화, 질화, 확산 등 다양한 재료 처리 응용 분야가 가능합니다. 이 모델은 광범위한 프로세스 레시피를 제공하며, 전도성 (conductive) 및 절연성 (insulating) 재료를 모두 처리 할 수 있습니다. 장비는 다양한 배치 및 단일 웨이퍼 처리 (single wafer processing) 응용 프로그램에서도 사용할 수 있습니다. S5000은 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이합니다. 이 시스템에는 포괄적인 사용자 수작업 (manual) 과 온라인 지원이 제공되므로 운영 및 유지 보수가 간단합니다. 이 장치는 또한 아크 부식 보호 (Arc Corrosion Protection) 및 과도한 온도 차단 (Overtemperature Shutoff) 과 같은 다양한 진단 및 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 이 기계는 소음 수준이 낮고 작동 온도가 낮아 성능 최적화가 가능합니다. 결론적으로, PLASMA QUEST S5000은 다양한 박막 증착 프로세스에 탁월한 성능과 정밀도를 제공하는 고급 스퍼터링 도구입니다. 이 자산은 고품질 (High Quality) 재료와 컴포넌트로 구성되며 사용 및 유지 관리가 간단합니다. 다목적 멀티 챔버 디자인과 다양한 프로세스 레시피 (레시피) 를 갖춘 S5000은 고품질 박막 (박막) 을 만드는 데 적합합니다.