판매용 중고 PERKIN ELMER Randex 3400 #9115270

PERKIN ELMER Randex 3400은 다양한 반도체 제작 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 다양한 재료의 균일 하고 일관된 박막 코팅 (thin film coating) 을 기판에 생성 할 수 있습니다. 자동 스퍼터 레이트 컨트롤 (sputter rate control) 및 온보드 웨이퍼 직경 프로그래밍 (on-board wafer diameters programming) 을 포함하여 대용량 생산에 이상적인 여러 가지 고유 한 기능이 장착되어 있습니다. 장치의 핵심은 단일 음극 펄스 dc 스퍼터링 소스이며, 이는 반응성 및 비 반응성 코팅을 모두 허용합니다. 고전원은 다양한 기판에서 높은 스퍼터 속도를 유지할 수 있으며 과도한 손상을 방지하기 위해 아크 실딩 (Arc Shielding) 이 장착되어 있습니다. 랜덱스 3400 (Randex 3400) 은 고급 듀얼 모드 램프 제어 머신을 사용하여 스퍼터 속도를 자동으로 최적화하여 최대 정밀 박막 생산을 수행합니다. 피크 파워 모니터 (Peak Power Monitor) 를 장착하여 소스의 성능을 지속적으로 모니터링하여 고품질의 박막 (Thin film) 을 지속적으로 제공합니다. 고급 피크 파워 조정 도구 (Advanced Peak Power Adjustment Tool) 는 코팅 필드의 작은 변화가 빠르고 정확하게 조정되도록 합니다. 이 자산에는 균일하고 일관된 펄스 파워를위한 열 안정성이 높은 음극 설계, 고온에서도 안정적인 스퍼터 레이트 (sputter rate) 를 유지하기위한 고온 베이크 실드 디자인 (bakable shield design) 등 여러 가지 고급 기능이 포함됩니다. 이 모델에는 향상된 웨이퍼 로딩을 위해 대용량 cryo-pump (cryo-pump) 및 대용량 로드 잠금 장치가 장착되어 있습니다. PERKIN ELMER Randex 3400은 까다로운 반도체 제작 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 최고의 성능을 위해 소스 파워를 자동으로 제어하여 고정밀 코팅 (high-precision coating) 을 보장하여 균일하고 일관된 박막 (thin film) 을 생성합니다. 이 장비는 또한 안정성이 높고 내구성이 뛰어나며, 소형의 설치 공간과 낮은 운영 비용을 제공합니다. 유연성과 성능으로 반도체 제작 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.