판매용 중고 PERKIN ELMER / RANDEX 3140 #293586064

ID: 293586064
빈티지: 1972
RF Sputtering system 1972 vintage.
PERKIN ELMER/RANDEX 3140은 다양한 연구 및 생산 실험실에서 일반적으로 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터 증착, 금속 에칭, 이온 에칭 등의 다양한 시스템 기능입니다. 또한이 장치는 DC 및 무선 주파수 스퍼터 스퍼터 증착, RF, DC 및 펄스 DC 에칭과 같은 프로세스 옵션을 제공합니다. 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 은 광범위한 어플리케이션을 위한 탁월한 안정성과 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 금속, 반도체, 산화물, 유전체 등 다양한 재료와 기판을 지원할 수 있으며, 다양한 크기와 모양을 제공합니다. 스퍼터링 자산은 메인프레임, 전원 공급 장치, 스퍼터링 소스의 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 메인프레임 (Mainframe) 은 운영되는 동안 구성 요소를 보관하는 강력한 프레임입니다. "에너지 '공급 장치 는" 스퍼터' 원 이 작동 할 때 에 전력 을 공급 하고, 스퍼터링 소스 는 "스퍼터 '물질 을 증착 시키기 위해 작용 하는" 아르곤' "이온 '의" 플라즈마' 를 만든다. 스퍼터링 모델의 주요 구성 요소는 스퍼터링 압력 (sputtering pressure), 기판 온도, 기판 이동 (substrate movement) 및 RF 전력 (power) 을 포함한 매개변수의 제어를 허용하는 다양한 방법으로 상호 연결 될 수 있습니다. 이러한 매개변수는 제공된 컨트롤러 (제공 컨트롤러) 를 사용하여 조정할 수 있습니다. 이 컨트롤러에는 프로세스와 관련된 정보를 표시할 수 있습니다. 랜덱스 3140 (RANDEX 3140) 장비는 사용자와 시스템을 보호하는 다양한 안전 (safety) 기능을 제공한다. 이러한 기능에는 fail-safe 회로, 플래시오버 (flashover) 보호, 과전류 보호, LED 표시등 모든 문제를 사용자에게 알립니다. 이 기능은 사용자의 안전과 장치의 수명을 보장합니다. 전반적으로 PERKIN ELMER 3140은 신뢰할 수 있는 고성능 도구가 필요한 다양한 어플리케이션에 이상적인 스퍼터링 머신입니다. 광범위한 소재 (material) 와 다양한 조절 가능한 매개변수 (adjustable parameter) 및 안전 (safety) 기능을 갖춘 3140은 모든 연구 또는 생산 연구소에 이상적인 선택입니다.
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