판매용 중고 PERKIN ELMER ICP 5300DV #9224906

ID: 9224906
Sputtering system.
PERKIN ELMER ICP 5300DV는 재료 가공 및 제조 산업에 사용되는 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 기계는 다양한 전자, 광전자 (optoelectronic) 및 태양광 장치의 제작에 일반적으로 사용되는 박막 재료의 증착에 사용됩니다. 스퍼터링 시스템은 6축 로봇 암 (robotic arm) 으로 구성되며, 이는 고도의 샘플 균일성과 프로세스 균일성을 제공하는 데 사용됩니다. 스퍼터링 유닛은 정밀도와 정확도가 높은 박막 층을 증착 할 수 있습니다. 증착 속도는 낮은 표면 거칠기로 최대 0.02 nm/초에 도달 할 수 있습니다. 기계는 균일 한 두께와 균일성으로 큰 기판을 코팅 할 수있는 여러 개의 스퍼터링 소스를 사용합니다. 또한 샘플 픽업 및 교체를위한 로봇 팔도 포함되어 있습니다. "스퍼터링 '도구 에는 가변 압력 과 유량 속도 를 가진" 가스' 를 공급 하는 "가스 '와 유체 조절 장치 가 있다. 이것은 균일 한 박막 증착을 보장하는 데 중요합니다. 에셋은 또한 가스 손실을 줄이고 기질의 산화를 방지하기 위해 흐름을 제어 할 수있는 비활성 가스 (아르곤) 를 포함한다. ICP 5300DV 모델은 매우 다재다능한 장비로, 고속 증발, 이온 스퍼터 에칭, 조절 가능한 가스 압력 범위가 0.01 ~ 20 Torr 인 박막 증착 등 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 또한 최대 5,000 볼트 (V) 의 조절 가능한 전압 출력과 최대 5,000 와트의 전력을 제공 할 수있는 전원 공급 장치가 포함되어 있습니다. PERKIN ELMER ICP 5300DV를 사용할 때 고려해야 할 가장 중요한 요소 중 하나는 안전 관행입니다. 이 시스템은 비상 정지 버튼 (Emergency Stop Button), 자동 비상 차단 (Automated Emergency Shoff) 및 잠재적 인 화재 및 폭발 위험을 방지하는 비활성 가스 주택 설계와 같은 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 증발 공정에서 탈출하는 가스와 입자를 포함하는 부스 (booth) 도 포함됩니다. 전반적으로 ICP 5300DV는 박막 층을 증착시키는 데 탁월한 기능을 갖춘 신뢰할 수있는 스퍼터링 장치입니다. 이 기능은 프로세스 유연성, 사용자 친화적 제어, 재료 처리를 위한 안전하고, 깨끗하고, 효율적인 환경을 제공합니다.
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