판매용 중고 PERKIN ELMER 8567 #9184892

PERKIN ELMER 8567 스퍼터링 장비는 표면 준비, 박막 증착 및 진공 코팅 응용 분야에 사용되는 고급 도구입니다. 이 시스템은 다중 대상 이중 음극 Planetary Sputter Coater, 1600W DC 전원 공급 장치, 컨트롤러 및 진공 챔버로 구성됩니다. 이중 음극 스퍼터링 장치는 목표 위치, 스퍼터링 파워, 챔버 압력, 스퍼터 가스 유량 (sputter gas flow rate) 과 같은 프로세스 매개변수를 완전히 제어합니다. 이러한 매개변수를 사용하여 사용자는 박막 증착의 필름 두께 (film thickness), 서피스 영역 (surface area), 균일성 (uniformity) 및 기타 매개변수를 변경할 수 있습니다. 표적의 '어두운 지점' 인 이온 소스 (ion source) 는 증착 전에 표면의 효율적인 이온 클리닝을 가능하게한다. 자동화된 프로세스 모니터링 머신 (automated process monitoring machine) 을 통해 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링할 수 있는 반면, 이 장치의 고도로 프로그래밍 가능한 컨트롤러를 사용하여 원하는 서피스 준비 (surface preparation) 및 증착 프로세스에 대한 레시피를 설정할 수 있습니다. 이 공구에는 독특한 내부 반응성 플라즈마 소스가 있는데, 이는 산화물 (oxide) 또는 질화물 층 증착 (nitride layers deposition) 과 같은 반응성 스퍼터링 프로세스에 사용될 수 있습니다. 반응성 플라즈마 소스를 사용하면 추가 장비없이 고품질 필름을 증착할 수 있습니다. 자산의 진공실에는 고효율 저소음 터보 분자 펌프 (low-noise turbomolecular pump) 와 기계식 클램핑 (clamping) 을 갖춘 기판 처리를위한 로봇 암 (robot arm) 이 장착되어 있습니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 매우 정확하며 증착 공정의 정확한 위치에 웨이퍼와 기판을 정확하게 배치하는 데 사용될 수있다. 이 모델에는 가스 블렌더, UV-ODE 소스 및 터보 게이지 (turbo gauge) 와 같은 다양한 액세서리가 있으며, 다양한 증착 기술에 사용할 수 있습니다. 8567 스퍼터링 (sputtering) 장비는 박막 증착 및 표면 준비 응용을위한 매우 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 원형화 (prototyping) 및 연구 (research) 애플리케이션에 적합하며, 표면 특성에 대한 정확한 제어 및 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다.