판매용 중고 PERKIN ELMER 4480 #9239563

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PERKIN ELMER 4480
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ID: 9239563
Sputtering system.
PERKIN ELMER 4480은 산업 생산 공정을 위해 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 터보 분자 진공 펌프, 스퍼터 건, 듀얼 레벨 컨트롤 및 통합 안전 인터 록이 장착되어 있습니다. 이러한 하드웨어, 소프트웨어, 안전 기능의 조합으로 인해 4480은 다양한 프로덕션 어플리케이션에 이상적인 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 가 됩니다. PERKIN ELMER 4480은 독립적 인 이중 레벨 컨트롤로 자동 진공 펌프 구성을 제공합니다. 이를 통해 더 빠른 주기와 반복 가능한 초고진공 (UHV) 성능이 가능합니다. 이 기계는 1 마이크로 토르 미만의 압력 등급을 받았으며, 자동 펌핑 제어에 사용될 때 10-6 토르 (torr) 이하의 기본 압력을 달성 할 수 있습니다. 이 도구의 최대 스퍼터 전력 밀도는 30mtorr이며 RF 또는 DC 전원은 최대 30kW입니다. 4480에 포함 된 스퍼터 건은 PGS (Planar Gun Asset) 입니다. 정밀 재료 전달을 위해 특별히 설계된 전동 셔터 모델이 장착되어 있습니다. 작동 중 안전성을 높이기 위해 연동 센서로 보호됩니다. 총은 자동 목표 포지셔닝을위한 별도의 행성 단계 (planetary stage) 와 균일 한 박막 스퍼터링 (sputtering) 과 연관 될 수 있습니다. PERKIN ELMER 4480에는 우발적 스퍼터 손상 (sputter damage) 또는 장비 오작동으로부터 사용자를 보호하기 위해 일련의 안전 연동이 포함되어 있습니다. 모든 프로세스는 전용 컴퓨터 인터페이스로 감독되고 제어됩니다. 이렇게 하면 스퍼터링 프로세스의 모든 매개변수를 모니터링, 로그, 제어할 수 있는 직관적인 그래픽 인터페이스가 제공됩니다. 4480은 박막 제작을 위한 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 기능, 강력한 기능, 고성능 구성 요소 등을 통해 다양한 산업 어플리케이션에 적합합니다. 이 제품은 정교한 기술과 안정적인 성능을 제공하므로, 다양한 생산 프로세스에서 스퍼터링 (sputtering) 을 위한 비용 효율적인 선택입니다.
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