판매용 중고 PERKIN ELMER 4450 #9251060
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ID: 9251060
Sputtering system
(3) DELTA Targets and etch
Used for thin silicon R&D tri metal (Ti ,Ni, Ag)
Spare parts:
Qty / Part number/ Description
(3) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(7) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(5) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(3) / PES-120-019-000 / O Ring BS214 Viton
(6) / PES-120-121-000 / O Ring BS222 Viton
(2) / PES-120-144-000 / Switch micro (BA-2RV22T)
(4) / PES-121-165-000 / Circlip - External 1/2"
(1) / PES-121-189-200 / Circlip - External 1/4"
(4) / PES-121-381-400 / O Ring BS426 Viton
(10) / PES-121-392-000 / O Ring BS252 Viton
(8) / PES-121-392-000 / O Ring BS252 Viton
(20) / PES-121-394-500 / O Ring BS116 Viton
(7) / PES-121-395-300 / O Ring BS210
(2) / PES-121-395-800 / O Ring BS234
(7) / PES-121-396-700 / O Ring BS266
(3) / PES-121-396-900 / O Ring BS268
(2) / PES-121-401-400 / Belt timing 100 Xl
(2) / PES-121-411-600 / Bearing
(1) / PES-121-412-500 / Bracket
(1) / PES-121-412-600 / Bracket
(9) / PES-121-420-400 / O Ring BS131
(1) / PES-121-420-400 / O Ring BS131
(2) / PES-121-423-900 / O Ring BS272
(10) / PES-121-423-900 / O Ring BS272
(2) / PES-121-424-000 / O Ring BS278
(9) / PES-121-424-000 / O Ring BS278
(1) / PES-121-425-700 / Circlip internal 2"
(1) / PES-121-430-000 / Circlip internal 2 3/4"
(1) / PES-121-430-800 / FAFNIR KP33B Bearing ball
(1) / PES-121-432-400 / Ring retaining 2 1/8"OD
(1) / PES-121-947-100 / Resistor assy 15K Ohm
(2) / PES-121-964-910 / Bearing (204NPD) W-2Z
(8) / PES-122-026-600 / Fuse-1/8 Amp (1"x1/4")
(2) / PES-122-074-500 / Switch push button
(2) / PES-122-082-500 / Capacitor-WBR+1000-35
(2) / PES-122-142-800 / I.C 74C76
(1) / PES-122-142-900 / I.C 74HCT10
(1) / PES-122-148-500 / DAYCO 150L050 timing belt
(1) / PES-122-154-200 / Motor stepper 120 Volt
(5) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(2) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(2) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(1) / PES-122-202-400 / I.C 74HCT00
(100) / PES-122-202-500 / CD74HCT04E - IC (Farnell 381-081)
(2) / PES-122-245-600 / POTTER&BROOMFIELD Relay 115V
(5) / PES-122-267-500 / Washer steel 1 1/4OD x 3/4ID x 1/8
(2) / PES-122-268-400 / Capacitor variable 20-500 uF
(1) / PES-122-275-600 / I.C MCA 22312 (4N32 Equiv)
(1) / PES-122-283-790 / Switch toggle Op (C&K 7415)
(2) / PES-132-101-200 / Choke (Ohmite Z-7)
(1) / PES-132-509-300 / Timer (Syracuse DDR-00305)
(1) / PES-133-223-000 / Capacitor 500 mF 25VDC
(2) / PES-133-272-100 / Capacitor 500M 6Kv 25V
(2) / PES-134-021-200 / Rheostat 15K (Ohmite 4202 15000)
(1) / PES-134-354-000 / Resistor assy 3K
(1) / PES-134-402-000 / Resistor assy 33K
(1) / PES-134-403-000 / Resistor assy 100K
(1) / PES-134-407-000 / Resistor assy 5.6K
(1) / PES-134-951-500 / Resistor 22.5K
(2) / PES-135-444-400 / Switch rocker Op (C&K 7201)
(2) / PES-135-445-500 / Strip grounding
(2) / PES-135-921-200 / Head relay brd 24 V AC .K3
(2) / PES-135-921-900 / Relay 120V AC (Sigma78Re1)
(1) / PES-135-922-000 / Relay 28V DC / 120V AC
(1) / PES-135-928-200 / POTTER&BRUFIELD Khu17D11 Relay
(2) / PES-136-300-400 / Ring PTFE 1/4" ID
(2) / PES-136-634-000 / Transistor 2N1559
(2) / PES-139-003-000 / Insulator ceramic
(5) / PES-139-008-700 / Insulator ceramic
(3) / PES-139-008-700 / Insulator ceramic
(1) / PES-139-008-800 / Insulator ceramic
(1) / PES-178-146-000 / Motor 7RPM 120 Volt
(5) / PES-179-632-000 / Fuse (Buss GMA1O) 3/16 x 3/4
(1) / PES-220-965-000 / Clamp bar
(2) / PES-220-965-100 / Clamp bar
(1) / PES-221-079-300 / Block S/S 1" X 4 1/2" X 1/4"
(2) / PES-221-177-600 / PCB LN2 control
(3) / PES-221-180-200 / Switch rocker Op (Micro4TPL-7)
(1) / PES-221-274-900 / Gasket
(1) / PES-221-279-500 / Assembly feed through
(1) / PES-221-279-900 / Flange transport drive assy.
(1) / PES-221-281-500 / Assembly Feed Through
(2) / PES-221-296-100 / Water feed through
(6) / PES-221-340-900 / Strip grounding
(1) / PES-221-582-900 / PCB Filter board
(1) / PES-2E26 / Beam amplifier
(1) / PES-500-579-500 / Seal assy 1 5/8" OD
(1) / PES-500-585-400 / Bellows 1 1/2" Valve
(2) / PES-500-827-700A / Bellows Assy
(1) / PES-6AG7 / Receiving tube
(3) / PES-721-369-000 / Transformer
(5) /PES-721-384-000 / Washer fibre 1/2"OD X 1/8"ID
(10) / PES-AM33K3 / Bearing - Inner door
(5) / PES-B221-210-000 / Clip heater
(1) / PES-B221-462-700 / Motor Stepper 120 Volt
(1) / PES-D220-948-700 / Valve bellows 2"
(2) / PES-MI-100-KF / Gauge Ion-Mi-100-Kf.
PerkinElmer PERKIN ELMER 4450은 박막 제조 공정에서 금속 및 유전체 필름의 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 그것은 두 세계 중 최고를 제공합니다. 업계 표준 트윈 건 음극 스퍼터링 소스 (twin-gun cathode sputtering source) 와 유전체 필름의 균일 한 증착을위한 독특한 이중 너비 노즐 소스 (nozzle source). 이 시스템은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼에 고화질, 뛰어난 균일성을 가진 금속 또는 유전체 재료 층을 증착 할 수 있습니다. PerkinElmer 4450은 진공 챔버, 전원 공급 장치 및 고주파 (HF) 발전기로 구성됩니다. 연속 및 펄스 스퍼터링, RIMS (Reactive Ion Mode Sputtering) 및 이중 분리 소스에서 동시에 다른 재료의 증착 등 다양한 프로세스를 지원합니다. 이 장치는 위치 별 트윈 건 음극 스퍼터링 소스와 유전체 필름의 이중 너비 노즐 소스 (double-width nozzle source) 의 두 가지 소스를 수용 할 수 있습니다. 소스 전압 및 전원을 조정할 수 있으므로 증착률 (Deposition Rate) 과 필름 두께 (Film Thickness) 를 제어할 수 있습니다. PerkinElmer PERKIN ELMER 4450의 고급 전원 공급 장치는 각 소스에 대해 독립적이고 프로그래밍 가능한 전원 설정을 제공하며, 이를 통해 프로세스 최적화가 가능합니다. 이 기계는 또한 최대 8 개의 웨이퍼를 로드하고 언로드하기위한 리프트 도구 (리프트 도구) 가있는 샘플 홀더 (샘플 홀더) 를 갖추고 있습니다. 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 샘플 홀더의 동작은 액츄에이터에 의해 제어되며, 위치 반복 성은 1 미크론보다 낫다. 홀더는 회전하고 (CW 및 CCW) 분당 최대 395 회전에서 -10 ~ + 10 ° 범위로 기울어 질 수 있습니다. 에셋은 또한 자동 자동 초점 센서와 내부 (in-situ) 쿼츠 모니터를 통해 정확한 필름 두께 제어를 보장합니다. 마지막으로, PerkinElmer 4450에는 비상 정지 (Emergency Stop) 및 챔버 (Chamber), 소스 및 웨이퍼 홀더 (Wafer Holder) 와 같은 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 모델은 통제 된 환경에서 반도체 처리를 위해 설계되었습니다. 공정 "가스 ', 질소 또는 기타" 가스' 를 사용 하여 공정 "가스 '를 제거 할 수 있다. 요약하면, PerkinElmer PERKIN ELMER 4450은 높은 공정 반복 성과 정확성을 갖춘 균일 한 박막 증착을 제공하도록 설계된 고급, 고정밀 스퍼터링 시스템입니다. 사내 (in-situ) 쿼츠 모니터와 자동 초점 (auto-focus) 센서는 중요한 필름 매개변수를 쉽고 정확하게 제어하는 반면, 통합 안전 측정은 안정적인 프로세스 최적화를 제공합니다.
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