판매용 중고 PERKIN ELMER 4450 #9190161

퍼킨 엘머 4450 (PERKIN ELMER 4450) 은 금속 또는 합금의 얇은 필름을 제어 및 균일 한 방식으로 기판에 침전하도록 설계된 고급 하이드라이드 스퍼터링 시스템입니다. 일반적으로 반도체, 자기 장치, 광학 및 기타 전자 부품 제조에 사용됩니다. 이 시스템은 챔버, 기판 홀더, 전원 공급 장치, 증발기, 셔터 메커니즘 및 무선 주파수 (RF) 생성기 등 여러 구성 요소로 구성됩니다. 챔버는 2 개의 스테인리스 스틸 벽으로 구성되며 진공 상태를 유지하기 위해 밀봉됩니다. 기판 홀더는 챔버 (chamber) 에 장착되며 처리 된 기판을 확보하는 데 사용됩니다. "전원 공급 장치 '는 상수 의 전압 과 전류 를" 챔버' 에 공급 하고 작동 중 에 그것 을 지지 하는 데 사용 된다. 증발기 는 "스퍼터 '할 물질 을 기판 에 기화 시키는 데 사용 된다. 셔터 메커니즘은 재료가 기화 될 때 제어하는 데 사용됩니다. 마지막으로, RF 발전기 (RF generator) 는 기화된 물질을 기판에 편향시키는 전자의 흐름을 제공하는 데 사용된다. 일단 물질 을 기화 시키면, 기판 "홀더 '는" 챔버' 안 에 놓이게 되고, 그 다음 진공 이 생성 된다. RF 생성기 (RF generator) 는 챔버 내부에 전기장을 만들고 전자 빔 (electron beam) 을 생성하여 물질이 기판 표면에서 분출되게한다. 이 과정 은 원하는 "필름 '두께 에 도달 할 때 까지 수백 번 반복 된다. "스퍼터링 '기법 을 사용 하는 것 의 장점 은 기판 에 균일 한 층 의 물질 을 증착 할 수 있다는 것 이며, 그것 을" 패턴' 화 하거나 "코우팅 '할 수 있다는 것 이다. 또한, 이 프로세스를 사용하여 뛰어난 전기, 광학, 기계적 특성을 지닌 고성능, 내구성이 뛰어난 재료를 만들 수 있습니다. 고품질 반도체 부품, 자기 재료, 광학 미러, 미러 코팅, 메모리 장치 등 다양한 응용 분야에 4450을 사용할 수 있습니다. 또한, 시스템이 다른 원소 및 화합물의 혼합물로 더 정확하고 균일화 된 층을 생성 할 수 있기 때문에, 연구 및 개발 목적으로도 사용될 수있다.