판매용 중고 PERKIN ELMER 4450 #9113778

PERKIN ELMER 4450은 응용 프로그램의 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 단일 소스 마그네트론 스퍼터 및 전자 빔 증발이 포함됩니다. 스퍼터 소스의 직경은 16 인치이며 스테인리스 스틸 대상 (stainless steel target), 흑연 전기구 (graphite armature) 및 자석 전원 공급 장치로 구성됩니다. 증발 소스에는 3 개의 난방 장치가 있으며, 각각에는 전자빔 증발을위한 가열 된 필라멘트 (filament) 전원이 장착되어 있습니다. 이 장치는 프로세스를 제어할 수 있는 여러 가지 제어 가능한 매개변수를 제공합니다. 스퍼터 소스 파워 (sputter source power), 필라멘트 파워 (filament power), 목표물과 기판 사이의 거리, 전류 및 바이어스 (bias) 를 모두 조정할 수 있습니다. 증발원은 3 개의 개별 난방 장치 (개별 조작 가능) 로 구성되며, 일련의 또는 병렬로 사용될 수 있습니다. 난방 장치 및 기하학적 구성에 대한 전력도 조정할 수 있습니다. 이 기계는 과열을 방지하기 위해 안전 기능으로 설계되었습니다. 대부분의 기존 유형의 진공 펌프를 수용하도록 설계되었으며 온도 센서, 압력 센서, 진공 라인, LED 디스플레이 및 제어 보드가 장착되어 있습니다. 표준 이더넷 연결을 사용하여 원격으로 작동 할 수도 있습니다. 표준 스퍼터 도구 외에도 4450에는 여러 옵션 액세서리가 제공됩니다. 여기에는 스퍼터 코터, 기판 난방 요소 및 기판 지원 자산이 포함됩니다. 스퍼터 코터 (sputter coater) 는 균일 한 속도로 재료를 균등하게 스퍼터 (sputter) 하도록 설계되었으며, 기판 가열 요소는 증발 동안 챔버 전체에 균일 한 온도를 유지하는 데 사용됩니다. 기판 지원 모델은 기판을 정확하게 정렬하고 설치하여, 정확한 박막 증착을 가능하게 합니다. PERKIN ELMER 4450은 박막 응용 프로그램의 증착을 위해 설계된 안정적이고 효율적인 스퍼터링 장비입니다. 다재다능성은 유전체, 유기 및 금속 박막 증착을 포함한 다양한 응용 분야에 적합합니다. 수많은 제어 기능을 통해 프로세스를 정확하게 조작 할 수 있으며, 다양한 액세서리 (옵션) 는 유연성을 제공합니다.