판매용 중고 PERKIN ELMER 4450 #153442

PERKIN ELMER 4450은 반도체 산업에서 재료의 물리적 증기 증착 (PVD) 에 사용되는 스퍼터링 증착 장비입니다. 턴키 로딩 및 언로드 기능이있는 2 개의 스퍼터 챔버 (Sputter Chamber) 와 전용 기판 홀더 어셈블리 (Substrate Holder Assembly) 를 갖춘 모듈식 시스템입니다. 4450은 모든 시스템 정보를 표시하는 프로세스 모니터링 터치스크린 인터페이스에 의해 제어되는 완전 자동 스퍼터링 (sputtering) 장치입니다. 로봇 로딩 및 언로드는 빠르고 일관된 기판 전송을 가능하게합니다. 또한 자동화된 진공청소 (vacuum cleaning) 및 유지 보수 주기 (maintenance cycle) 를 통해 반복 가능하고 안정적인 운영을 보장합니다. PERKIN ELMER 4450에는 5 개의 스퍼터링 소스 (전자 빔 건, 3 개의 평면 마그네토플라즈마 스퍼터링 건 및 수직 마그네토플라스마 소스) 가 장착되어 있습니다. 전자 빔 건은 매우 균일 한 박막 침전물을 뿌리는 반면, 마그네토 플라즈마 소스는 더 큰 면적, 더 두꺼운 필름 응용을 위해 설계되었습니다. 전자빔 건의 스팟 크기는 5mm (5mm) 로, 고해상도 기능을 매우 정확하게 증착 할 수 있습니다. 4450은 고급 스퍼터 증착 및 동적 이온 빔 에칭 기술을 사용합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '," 칩' 및 "보드 '와 같은 기판 에 복잡 하고 정밀 한" 레이어링' 무늬 를 적용 할 수 있다. 기판 온도는 실온에서 최대 400 ° C까지 조절 할 수 있으며, 이는 다양한 물질 증착을 허용합니다. 스퍼터링 과정 (예: 아르곤, 산소 및 질소) 에는 다양한 가스가 사용됩니다. 그 들 은 약실 에서 충전 되고 가열 된 다음, "이온 '형태 로 기질 을 향해 가속 된다. 그 "이온 '이 기판 에 부딪히면, 그 들 은 표적 재료 가 기판 을 분사 (혹은 날려) 내리게 한다. 이 증착 과정은 표면에 박막을 만듭니다. PERKIN ELMER 4450은 다양한 PVD 응용 프로그램에 적합한 안정적이고 효율적인 스퍼터링 자산입니다. 자동화된 프로세스 (automated process), 정확한 증착 기능, 신뢰성 있는 운영 등을 통해 다양한 산업용/연구용 애플리케이션을 추가할 수 있습니다.