판매용 중고 PERKIN ELMER 4410 #9201791
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ID: 9201791
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering system, 8"
Wafer loading: Manual
With load lock
Cathodes: Delta shape, 3 max
Sputter methods: RF / DC
Diode / MAGNETRON
Gas lines: 1~3 MFC
Options:
Gas lines with MFC
N2
O2
Customized
Lamp tower alarm with buzzer:
Mechanical pump / Dry pump for process chamber and load lock
Independent mechanical pump / Dry pump for process chamber
Chiller for cooling plates and table
Turbo pump for load lock
Load lock lamp heating function: Up to 200°C
Chamber lamp heating function: Up to 300°C
Plasma etch function
Bias function
Co sputter function
Reactive sputter function
Main frame
28" Diameter SST chamber top plate with ports and cathodes:
Configuration 4400 4410 / 4450
Cathode shape Circle Delta
Cathode size 8" Delta
Cathode quantity 1 to 4 1 to 3
Sputter power supply:
4400 4410 / 4450
DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
RF Power 1kW / 2kW 2 kW / 3 kW
Pulse DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
Process chamber:
8" Diameter x 12" High stainless steel cylinder with 6"
CF Flange view port and load lock port
28" Diameter stainless steel base plate
11/2" Air operated roughing isolation valve
Air operated gas inlet valve
Air operated vent valve
11/2" Blanked-off leak check port
Removable deposition shields
23" Diameter, 3-position water cooled annular substrate
Table with variable speed motorized table drive
Full circle shutter and vane shutter
Chain drive pallet carrier transport
Heavy duty electric hoist
Load lock:
30" x 28" x 8" Stainless steel load lock chamber
Aluminum cover
Chain drive pallet carrier transport
2" Air operated roughing isolation valve
Air operated vent valve
23" Diameter molybdenum annular substrate pallet
Elevator for pallet up and down function
Vacuum systems for process chamber:
(2) Stage cryo pumps
With 1000 l/s pumping speed for air
Includes:
Chevron
Water cooled compressor and lines
Automatic regeneration controller
Plumbing kit, 71/2"
Aluminum air operated gate valve: 6" ASA
Air operated venetian blind throttling valve
Mechanical pump or dry pump for process: 36.7 Cfm
Chamber and load lock
Replaced obsolete controls:
Auto pump down controller
Load lock controller
Digital clock timer
Table raise / Lower control
Throttle valve control system
Pressure control system
Sputter head controls
Gas line with MFC
Ar, 200 SCCM, customized
Power box: AC 380 V / 208 V / 3 Phase.
PERKIN ELMER 4410은 매우 다재다능한 기능 세트로 설계된 스퍼터링 (sputtering) 장비로, 전기, 마이크로 일렉트로닉스 및 반도체 응용 분야에 널리 사용됩니다. 이 고가용성 시스템은 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 스퍼터 건 (sputter gun) 과 제어 및 전원 구성 요소가 포함된 통합 섀시. 4410 중심부의 스퍼터 건에는 40 ~ 350 와트의 조절 가능한 전원 공급 장치가 있습니다. 이를 통해 사용자는 장치의 증착률 (deposition rate) 을 현재 프로젝트 또는 응용 프로그램의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 스퍼터 건 (sputter gun) 설계는 매우 모듈 식이므로 증발, 마그네트론 및 다이오드 디자인을 포함한 다양한 스퍼터링 대상을 사용할 수 있습니다. PERKIN ELMER 4410의 통합 섀시는 컨트롤 및 모든 전원 구성 요소가 있는 곳입니다. 제어 장치는 수동 모드 옵션뿐만 아니라 자동화된 작업을 용이하게 합니다. 여기에는 압력 (pressure) 과 온도 (temperature) 와 같은 매개변수를 지정할 수있는 사전 프로그래밍 된 작업 과정과 스퍼터링 프로세스를 미세하게 조정하는 수동 작업이 포함됩니다. 전원 장치는 들어오는 AC 전원을 스퍼터 건 (Sputter Gun) 에 필요한 DC 전력으로 변환하는 데 필요한 많은 변압기와 정류기로 구성됩니다. 4410 은 청소실 (cleanroom) 형 환경에 사용하도록 설계되었으며, 안전성을 염두에 두고 설계되었습니다. 비상 사태 (Emergency Shut-off) 버튼이 포함되어 있어 비상 사태 발생 시 기계를 빠르게 종료할 수 있으며, 배기 (Exhaust) 가 외부로 분출되어 위험 물질의 노출이 최소화됩니다. 요약하면, PERKIN ELMER 4410은 뛰어난 제어 및 전원 구성 요소를 갖춘 다목적, 고성능 스퍼터링 툴로, 다양한 산업 및 연구 관련 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 이 제품은 탁월한 안전성과 모듈식 스퍼터 건 (Sputter Gun), 통합 컨트롤 (Integrated Control) 을 위해 설계되었으며, 사용자는 현재 프로젝트의 정확한 요구를 위해 자산을 사용자 정의할 수 있는 안심할 수 있습니다.
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