판매용 중고 PERKIN ELMER 4410 #9068937

PERKIN ELMER 4410
ID: 9068937
Sputtering systems, 4"-6".
PERKIN ELMER 4410은 광범위한 어플리케이션을 위해 설계된 강력한 스퍼터링 장비입니다. 첨단 스퍼터링 기술 (Advanced Sputtering Technology) 은 사용자가 정밀하고 균질한 방식으로 대형 기판에 대한 재료를 정확하게 증착하도록 제공합니다. 이 시스템은 다양한 구성 요소 (예: AutoDrop III) 로 구성되어 있으며, 이는 솔리드 필름을 원하는 기판 영역에 배치하여 가변 두께의 기판 코팅을 허용합니다. 이 장치에는 증착 매개변수를 정확하게 제어하고 모니터링하는 자동 증착기 인 매스 로더 (Mass Loader) 도 포함되어 있습니다. 4410에는 균일 하고 균일 한 스퍼터 프로파일 (sputter profile) 을 만드는 다중 채널 RF 스퍼터 음극 (Sputter Cathode) 이 장착되어 있으며, 넓은 기판 영역에서 재료를 균일하고 효율적으로 증착 할 수 있습니다. 이 도구에는 다양한 응용 프로그램의 금속 표적과 유전체 표적을 모두 스퍼터팅 할 수있는 기능이 있습니다. 스퍼터 음극 (Sputter Cathode) 에는 조정 가능한 압력 및 가변 전원 설정이 있으므로 사용자가 증착률을 제어 할 수 있습니다. 자산은 적응력이 높으며 금속, 플라스틱, 복합 소재, 유전체 등 다양한 기판 유형을 수용 할 수 있습니다. 또한 여러 표적을 순서대로 스퍼터팅 (sputtering) 하여 복잡한 재료 층을 증착 할 수 있습니다. 이 모델은 통합 된 펄스 플라즈마 (Pulsed Plasma) 기술을 통해 뛰어난 접착 및 접촉 내성을 갖춘 고품질 필름을 만들 수 있습니다. PERKIN ELMER 4410에는 또한 적응형 (adaptive) 로드 락 챔버 (load lock chamber) 가 있어 기판을 직접 도입 및 제거하여 사용자에게 프로세스 유연성과 처리량이 향상됩니다. 추가 안전 기능으로 인해 장비가 청소실 환경에 적합합니다. 또한 4410에는 압력, 온도, 기판 영역, 전압, 전류 등과 관련된 실시간 업데이트를 사용자에게 제공하는 디지털 디스플레이가 있습니다. 이 시스템은 중대형 (Medium to Large) 생산에 적합하며, 다양한 재료의 스퍼터 증착 (Sputter Deposition) 을 수행할 수 있는 효율적이고 안정적인 방법을 제공합니다.
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