판매용 중고 PERKIN ELMER 4410 #293805512

PERKIN ELMER 4410은 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 금속, 액체 quench, 세라믹 산화물 및 금속 간 화합물의 균형 있고 고효율 증발, 스퍼터링 및 산소 혈장 증착을 위해 설계되었습니다. 증착과 에칭을위한 4 개의 음극과 2 개의 전자 빔 소스가 장착되어 있습니다. 4410에는 공정 챔버 및 차동 펌핑 챔버 (differential pumping chamber) 를 포함한 이중 챔버 디자인이 있습니다. 이 장치는 금속, 액체 quench, 세라믹 산화물 및 금속 간 화합물의 증발, 스퍼터링 및 산소 혈장 증착을위한 직접 및 펄스 소스가있는 4 개의 음극을 제공합니다. 이 기계에는 외부 부분 압력 차동 펌핑 공구가 포함되어 있으므로 공정 챔버 (process chamber) 에서 대기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 챔버의 선택적 통풍을 허용하는 미니 잠금 밸브 메커니즘이 포함되어 있습니다. 자산의 스퍼터링 소스는 직접 스퍼터, 이온 폭격, 캐스케이드 증착과 같은 고급 작동 모드를 특징으로합니다. 최고 품질의 필름을 제공하기 위해 모델에는 2 개의 E-beam 소스가 장착되어 있습니다. 소스는 광범위한 에너지 (0 ~ 6kV) 에서 작동하며 감속 및 펄스 너비를 가속화하는 다양한 옵션을 제공합니다. 디지털 깊이 컨트롤러는 스퍼터링 된 필름에 대한 정확한 깊이 제어를 제공합니다. E-beam 소스에는 에칭 전 및 사후 프로세스를위한 진공 빵 장비도 포함됩니다. 이 시스템에는 또한 여러 기판에 필름을 자동으로 증착 할 수있는 자동 샘플 체인저 (automated sample changer) 가 포함되어 있습니다. PERKIN ELMER 4410에는 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 장치에는 프로세스 중 정확한 온도 조절을 위해 s t w o s t g e 열 교환기와 프로그래밍 된 온도 조절 기계가 포함됩니다. 이 도구에는 또한 프로세스 챔버에서 최대 5mbar의 부분 압력을 제공하는 단일 단계 터보 펌프 (single stage turbo pump) 가 포함됩니다. 또한, 자산은 모델 오작동의 경우 자동 종료 기능으로 설계되었습니다. 정확성을 보장하기 위해 4410은 강력한 컨트롤러로 설계되었습니다. 컨트롤러에는 간편한 프로그래밍 및 작동을 위한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 및 터치 스크린이 있습니다. 또한 컨트롤러는 온보드 PC를 통해 장비 매개변수에 대한 실시간 모니터링을 제공합니다. 이 시스템에는 기판 전체에서 최적의 증착을 위해 전력 및 전압을 제어하기위한 교정 장치 (calibration unit) 도 포함되어 있습니다. 또한 컨트롤러를 사용하여 레시피를 쉽게 입력할 수 있습니다. PERKIN ELMER 4410은 스퍼터 증착 및 에칭을위한 훌륭한 기능을 갖춘 견고한 디자인을 제공합니다. 이 기계에는 고급 소스 (advanced source) 와 다양한 안전 기능이 포함되어 있어 고품질 필름을 지속적으로 생성합니다. 또한 컨트롤러는 공구 매개변수에 대한 정확한 실시간 모니터링을 제공합니다. 이 자산은 다양한 기판에 걸쳐 다양한 재료를 증착하는 데 이상적입니다.