판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #9355617
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ID: 9355617
Sputtering system
(3) Round targets, 8"
With RF etch
CTI On board (8) cryopump with fast regen controller
ADVANCED ENERGY RFG 1250 RF Power supply
ADVANCED ENERGY RFG / AZX RF Controller
GRANVILLE PHILLIPS 307 Ion gauge controller
MKS 270 Signal controller.
PERKIN ELMER 4400은 연구 및 산업 응용 분야의 영화 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 장비는 기판을 빠르고 효율적으로 처리 할 수있는 수많은 기능과 기술 (technologies) 로 제작되었습니다. 4400 년에 사용 된 펄스-리버스 마그네트론 스퍼터링 (pulse-reverse magnetron sputtering) 기술은 얇은 필름을 생산하고 기판에서 접착력을 향상시키는 다재다능하고 신뢰할 수있는 프로세스입니다. 정해진 매개변수에 따라 듀티 사이클 (duty cycle) 을 빠르고 정확하게 조정하여 일관된 필름 성장을 보장합니다. 이 시스템은 멀티 타겟 (multi-target) 구성도 허용하며, 이는 대량 생산 라인의 주요 장점이 될 수 있습니다. PERKIN ELMER 4400 (PERKIN ELMER 4400) 은 또한 견고한 전원 공급 장치로 설계되어 다양한 필름 증착 기술에 필요한 RF 전원 수준을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이는 목표 조건에 관계없이 필름의 균일성과 일관성을 보장합니다. 4400은 혁신적인 진공 장치를 갖춘 깨끗한 작업 환경을 보장합니다. 에드워즈 40 XDS 드라이 스크롤 펌프 (Dry Scroll pump) 와 배기 시스템 150 드라이 진공 펌프 (Dry Vacuum Pump) 를 포함한 다단계 펌핑 머신으로 설계되어 증착실 및 공구 배기를 신속하게 대피 할 수 있습니다. 또한 PERKIN ELMER 4400에는 석유 오염을 방지하기 위해 인라인 오일 분리기가 장착되어 있습니다. 사용 가능한 기판 크기 및 구성의 범위는 4400 개로 확장되며, 직경이 최대 8 인치 (200mm) 인 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 즉, 다양한 기판과 소규모 런을 처리할 수 있는 유연성이 향상됩니다. 전반적으로 PERKIN ELMER 4400은 정밀도, 안정성 및 생산성을 제공하여 의료 기기, 반도체, 복합 반도체, 산업용 진공 부품 등 다양한 필름 증착 응용 프로그램을 선택할 수있었습니다. 이 스퍼터링 에셋 (sputtering asset) 은 간소화된 공정으로 얇은 필름 증착에 대한 간단한 접근 방식을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 가장 힘든 작업 (Tasks) 에 이르는 다양한 기능과 기술을 갖추고 있습니다.
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