판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #9283424

PERKIN ELMER 4400은 박막 증착에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 금속, 합금, 도자기, 중합체 등 다양한 재료를 퇴적시키는 데 사용될 수있는 다목적 스퍼터링 스테이션입니다. 다양한 기판에서 고품질 광학, 전기, 반도체 코팅을 제작하는 데 이상적입니다. 이 시스템에는 2 개의 독립적 인 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 가 있으며, 이는 2 개의 다른 기판에서 동시에 증착 할 수 있습니다. 이 장치는 직경이 최대 8 "인 기판을 사용할 수 있으며, 두께가 0.5nm에서 최대 2 초인 초박막 (ultra-thin film) 을 만들 수 있습니다. 최적의 진공 수준은 빠르고 쉽게 도달 할 수 있으며, 회전하는 원형 음극은 넓은 영역 기판에서 균일 한 증착을 보장합니다. 4400 개를 사용하면 DC 마그네트론 스퍼터링 시스템을 사용하여 매우 정확하고 균일 한 박막을 만들 수 있습니다. 최대 2000 "와트 '의 총 전력 을 생산 할 수 있는 2 개 의 독립 전원 공급 장치 는 증착율 을 정확 히 제어 할 수 있다. 조정 가능한 2 차 전자 전류 (SEC) 를 사용하여 높은 수준의 프로세스 제어를 달성 할 수 있으며, 이를 통해 스퍼터링 프로세스를 세밀하게 튜닝 할 수 있습니다. 내장 디스플레이 피드백 머신은 총 이온 전류, SEC 전류, 웨이퍼 검출기, 대상 홀더 온도, 기판 온도 등 중요한 매개변수에 대한 즉각적인 측정 피드백을 제공합니다. 통합 컨트롤러는 또한 바이어스 전압, 셔터 및 닫기, 가스 입구 등을 정확하게 제어합니다. 결론적으로, PERKIN ELMER 4400은 다양한 응용 프로그램을위한 고품질 박막 제작에 사용되는 고급 다목적 스퍼터링 도구입니다. 2 개의 독립적으로 구동되는 챔버, 내장 디스플레이 피드백, 조정 가능한 SEC 전류 및 기타 기능을 통해 넓은 지역 기판의 재료를 정확하게 제어 및 균일 하게 증착 할 수 있습니다.