판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #9262983
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ID: 9262983
Sputtering system
Up to (3) circular cathodes, 8"
Load lock with turbo pump
(2) MKS Gas lines.
PERKIN ELMER 4400 스퍼터링 장비는 대형 기판 및 반도체 웨이퍼에서 박막 (thin film) 을 생산하는 데 사용되는 안정적이고 고성능 증착 장치입니다. 이 시스템은 특정 기판 부품에 솔리드 대상 재료 (solid target material) 를 적용하고 고온, 고압 플라즈마 소스를 사용하여 재료를 원자 화하고 스퍼터링합니다. 이 기술은 종종 전자, 항공 우주, 광학 및 의료 목적으로 사용되는 보호 레이어 (protective layer) 또는 필름 (film) 을 만드는 데 사용됩니다. 4400 은 여러 가지 고급 기능과 기능으로, 사용자가 손쉽고 효율적으로 박막 (thin film) 을 만들 수 있습니다. 표준 RF (무선 주파수) 및 DC (직류) 마그네트론 및 전자 빔 스퍼터링 소스와 함께 제공되어 다양한 응용을위한 다양한 박막 (thin film) 을 만들 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 자동 셔터 (shutter) 가 있어 사용자가 증착 과정을 제어 할 수 있습니다. 또한, 터치 스크린이 장착 된 PLC (programmable logic controller) 시스템을 사용하면 기판 부품의 전달을 제어하여 위치를 스퍼터링하고 스퍼터링 작업의 시작 시간과 기간을 설정할 수 있습니다. PERKIN ELMER 4400의 내장 냉각 도구 및 배기 에셋은 장치를 효율적이고 장기적으로 사용할 수 있습니다. 4400은 PPT (Pulse Power Technology) 를 다양한 박막 재료를 빠르고 정확하게 증착 할 수있는 독특한 에너지 원으로 사용합니다. 이 기술은 정확한 스퍼터링 작업에 필요한 정확한 에너지 수준을 제공 할 수 있습니다. 또한 "펄스 '동력 을 조절 하는 능력 은 더 빠르고 부드러운 동작 과 더 나은 온도 조절 을 보장 해 준다. PERKIN ELMER 4400에는 스퍼터링 프로세스를 정확하게 모니터링 할 수있는 혁신적인 APCS (Automatic Process Control Model) 도 있습니다. 이 장비는 정확한 데이터 로깅을 특징으로합니다. 자동 레시피 생성 및 저장; 스퍼터링 프로세스의 디지털 제어; 시간, 전압 및 전력 출력 모니터링. 또한 직관적인 소프트웨어와 함께 제공되어 시스템을 쉽게 운영할 수 있습니다. 전반적으로, 4400 은 강력하고, 안정적이며, 사용자 친화적인 스퍼터링 장치로서, 사용자는 다양한 씬 필름을 정확하고 효율적으로 제작할 수 있습니다. 첨단 기능, 기능으로 다양한 산업에 이상적인 단위가 됩니다.
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