판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #9262973

PERKIN ELMER 4400 (PERKIN ELMER 4400) 은 얇은 필름 및 금속 및 기타 재료 층을 반도체 기판에 배치하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 10 ~ 300W 전원 범위를 갖춘 높은 스퍼터링 속도와 균일성을 제공하는 소형 시스템입니다. 이 장치에는 쉬운 4 인치 웨이퍼 크기 증착 기능이 있으며, 각각 12 ~ 15 개의 재료를 적용 할 수있는 3 개의 대상 스퍼터링 모듈이 있습니다. 평면 LCD 터치 스크린 게이지, 내장 온대 및 가스 관리 머신, 조절 가능한 이중 메쉬 전기 자기 쉴드 (double-mesh electro-magnetic shield) 가 특징입니다. 4400 의 주요 특징 은 높은 속도 의 "스퍼터링 '율, 훌륭 한 균일성, 그리고" 스퍼터링' 을 쉽게 조정 하는 것 이다. 이 도구에는 3 개의 독립적 인 대상 챔버가 있으며 다양한 기판 구성이 가능합니다. 조절 가능한 기판 온도 범위는 약 -120 - + 400 ° C이며 강력한 가스 관리 자산입니다. 조절 가능한 압력 범위는 1-5mbar입니다. 제어하기 위해 PERKIN ELMER 4400에는 고급 자동 어셈블리 (Auto-Assembly) 프로그래밍 소프트웨어가 장착되어 있으며, 이를 통해 대상 카운터 매개변수를 처리 및 보정하고 사용자 정의 증착 모드를 프로그래밍할 수 있습니다. 이 모델에는 표적과 기판을 정확하게 배치하기 위해 이중 X-Y 스테이지 구성 로봇 암이 제공됩니다. 원활한 재질 전송을 위해, 장비에는 자동화된 2축 로터리 전송 모듈 (rotary transfer module) 이 장착되어 전체 표면에서 균일성을 보장합니다. 4400은 또한 엄격한 잔류 가스 분석기 (residual gas analyzer) 를 갖추고 있으며, 이전에는 재료 증착 공정에 대한 제어 및 정밀도가 들리지 않았습니다. 요약하면, PERKIN ELMER 4400은 소형 유닛 내에서 뛰어난 균일성을 가진 정확한 박막 증착이 가능한 고급 스퍼터링 시스템입니다. 그 강력한 기능은 사용자에게 재료 증착 공정 (material deposition process) 을 이전 어느 때보다 정확하고 정확하게 제어할 수있는 수단을 제공합니다.