판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #9242647

퍼킨 엘머 (PERKIN ELMER) 4400은 스퍼터링 장비로 반도체, 절연체, 금속 등 다양한 기판에 광범위한 물질을 침전시키는 데 도움이됩니다. 이 시스템을 사용하면 정교한 나노 구조 (nanosstructure) 개발을 위해 정확한 두께 레이어를 생성할 수 있습니다. 이 외에도 다중 재료 및 다중 계층 장치 (multi-material and multi-layer device) 생산에도 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 기판 가열 및 증발을위한 2 개의 E-Beam 총이 장착되어 있습니다. 4400은 고정밀 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. 고출력 펄스 DC 스퍼터링, 반응성 스퍼터링, 저출력 DC 스퍼터링 등 다양한 프로세스를 제공합니다. 공정 제어 매개변수 (process control parameters) 와 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 동안 작동 매개변수 (operating parameters) 에 의해 필름의 두께를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 다양한 표준 레시피를 제공하여 반복 가능하고 안정적인 결과를 보장합니다. PERKIN ELMER 4400의 디자인은 하중 잠금 도어를위한 평평한 평면이있는 원통형 챔버로 구성됩니다. 기계는 최대 300mm 웨이퍼까지 대각선으로 단일 3 인치 웨이퍼의 적재 용량을 제공합니다. 공정 챔버 내부에는 기판의 효율적인 코팅을위한 마그네트론 소스 (magnetron source) 와 고가 전력 커플 링 (power coupling) 이 있습니다. 이 도구에는 최대 4000 RPM의 회전 속도를 달성 할 수있는 프로그래밍 가능한 로테이터도 포함되어 있습니다. 이것은 큰 기판에 얇은 필름을 공간적으로 균일하게 증착시키는 데 도움이됩니다. 이 기능은 프로세스 균일성과 반복성도 향상시킵니다. 4400 자산은 또한 광학 방출 분광법을 사용하여 레이어의 불순물, 포함 및 비 균일 성을 감지합니다. 이렇게 하면 필름의 재료 증착률, 두께, 조성을 측정할 수 있습니다. 공정 "센서 '의 온도 는 집적" 센서' 에 의해 모니터링 되고 질소 제거 조절 은 깨끗 한 증착 배경 을 보장 한다. 이 모델은 또한 강력한 MFC 기반 모터 컨트롤을 제공합니다. 이 장비는 GUI를 쉽게 사용하여 로테이터, 도어, 드라이브, 전원, 냉각 시스템 등 다양한 구성 요소를 제어할 수 있습니다. PERKIN ELMER 4400은 다양한 어플리케이션에 적합한 안정적이고 효율적입니다. 또한 오래 지속되는 성능을 보장하기 위해 내구성이 뛰어난 구조로 설계되었습니다.