판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #9239818

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ID: 9239818
Sputtering system.
PERKIN ELMER 4400은 많은 산업에서 사용되어온 고급 스퍼터링 장비입니다. 응용 연구 및 산업 프로세스를위한 매우 강력한 도구입니다. 이 "시스템 '은" 이온' 을 가속 시키는 "스퍼터 '원 을 사용 하여 표적 물질 을 폭격 하여" 이온' 화 된 상태 로 증발 시킨다. 그 다음 에 기화 한 물질 은 "기판 '위 에 응축 되고 여러 가지 용도 에 사용 될 수 있는 얇은" 필름' 을 형성 한다. 이 단위 는 금속, 금속 산화물, 무기 화합물 의 박막 을 퇴적 시키는 데 사용 되어 왔다. 4400에는 큰 목표 및 기판 보유자가있는 3 개의 독립적 인 스퍼터링 소스가 있습니다. 최대 70 ° C의 기판에 샘플을 배치 할 수있는 핫 스테이지 (hot-stage) 로 설계되었습니다. 1mm에서 6- 사이의 대상 및 기판 크기가 지원됩니다. 이렇게 하면, 형상 과 크기 가 다른, 여러 가지 기판 에 재료 를 증착 할 수 있다. PERKIN ELMER 4400에는 스퍼터링 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 전체 소프트웨어 스위트가 장착되어 있습니다. 작동 중 이온 전류, 스퍼터 압력 및 플럭스 속도, 대상 스퍼터링 dc 전압, 기판 온도 및 목표 수를 결정할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 박막 (Thin Film) 특성을 분석하는 데 사용할 수있는 증착 중 데이터 수집을 허용합니다. 온보드 진단을 통해 트러블슈팅을 쉽고 간편하게 수행할 수 있습니다. 이 기계 에는 압력센서 (pressure sensor) 가 장착 되어 있는데, 이 센서 는 작동 환경 을 계속 검사 하고, 잠재적 인 오류 를 신속 히 식별 할 수 있게 해 준다. 4400은 다양한 재료를 사용할 수 있습니다. 다른 재료 의 결합 은 "박막 '의 성능 을 높일 수 있다. 재료 호환성에는 금속 (Au, Al, Cu, Mo, Cr, Ti 등), 유전체 (SiO2, SiNx, Al2O3) 및 폴리머 (Pd, Pt, GaAs 등) 가 포함됩니다. 금속, 유리, 도자기, 실리콘 웨이퍼 등 다양한 기질이 기계에 의해 지원됩니다. 전반적으로 PERKIN ELMER 4400 (PERKIN ELMER 4400) 은 신뢰할 수 있고 강력한 장비로, 다양한 씬 필름 어플리케이션에 일관된 결과를 제공합니다. 산업 생산뿐만 아니라 고급 연구에 적합합니다.
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