판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #9210436

PERKIN ELMER 4400 스퍼터링 장비는 금속, 화합물 및 하이브리드 화합물의 박막을 기판에 배치하는 데 사용되는 고성능 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 산업, 과학 및 학술 연구를위한 강력한 도구입니다. 4400은 마그네트론 및 이온 빔 보조 마그네트론 스퍼터링을 사용합니다. 마그네트론 스퍼터링 (Magnetron sputtering) 은 균질 한 박막 증착을 생성하며 기본 재료 증착 응용에 사용됩니다. 이온 빔 보조 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술은 더 큰 필름 접착력을 가능하게하여 우수한 품질의 필름을 제공합니다. 또한, 이온 빔 보조 마그네트론 스퍼터링 기술은 높은 종횡비를 가질 수있는 등각 필름을 증착시키는 데 이상적입니다. 이 장치의 전원은 정확한 전류 제어 및 뛰어난 반복 능력을 갖춘 5 개의 타겟 스퍼터링 (sputtering) 을 제공 할 수 있습니다. 기계의 4 포켓 부하 잠금 도구는 증착 효율과 처리량을 증가시킵니다. 적재 자산 (loadlock asset) 은 공기 매개 오염 물질의 최소화를 보장하며 안정적인 염기압을 허용합니다. 이 소프트웨어에는 프로세스 매개변수를 쉽게 제어할 수 있는 고급 사용자 인터페이스 (advanced user interface) 가 포함되어 있습니다. 고급 데이터 로깅 모델은 작업 중 사용자정의 매개변수를 기록하며, 실시간 증착률 제어 (deposition rate control) 도 포함합니다. 또한 장비 에는 환경 압력 을 모니터링 하기 위한 압력 모니터 (pressure monitor) 도 들어 있다. PERKIN ELMER 4400의 챔버 직경은 830mm이며 챔버 높이는 368mm입니다. 이 챔버 (Chamber) 는 여러 재료와의 고도의 균일성과 호환성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 공정 가열을 줄이고 웨이퍼 (wafer) 와 챔버 (chamber) 간의 통신을 개선하는 독특한 받침대 디자인을 사용합니다. 이 장치에는 2 단계로 구성된 고급 펌핑 머신 (advanced pumping machine) 도 포함되어 있습니다. 둘 다 공구 전환을 줄이고 공정 오염을 줄이기 위해 설계되었습니다. 1 단계 터빈 펌프는 2 단계 물개를 사용하여 높은 수준의 챔버 청결을 보장합니다. 2 단계 cryopumps는 남은 오염 물질을 동결시켜 비활성 상태로 만듭니다. 4400 스퍼터링 자산은 산업 수준의 박막 증착에 이상적인 선택입니다. 기술 및 모델 향상 기능의 조합은 뛰어난 접착력과 뛰어난 반복성을 갖춘 고품질, 규격 필름 (compliance film) 을 보장합니다. 이 장비는 연구원들에게 박막 기술을 탐색하고 개발하는 안정적이고 효율적인 방법을 제공합니다.