판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #9161732

ID: 9161732
Sputtering system (3) Targets DC and RF magnetron power supplies Load lock.
퍼킨 엘머 (PERKIN ELMER) 4400은 다양한 복잡한 연구를 위해 표면을 준비하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 사용하여 필름, 금속 마스크 패턴화 (metal mask patterning) 및 기타 응용 분야에 사용하기 위해 다양한 기판에 얇은 재료 필름을 배치합니다. 고성능 증착 장치 (High-Performance Deposition Unit) 는 이온 소스를 사용하여 물질로 기판을 폭격하여 표면을 균일하고, 고품질의, 제어 된 박막 (Thin-film) 을 생성합니다. 이 기계는 대규모 작업 환경으로 설계되었으며, 멀티 가스 매니 폴드 (Multi-gas Manifold) 및 가스 패널 (Gas Panel) 을 포함하여 광범위한 재료를 증착 할 수 있습니다. 최대 3 개의 기판으로 작동 할 수 있으며 기존 DC 또는 DC 펄스 유형의 스퍼터링 소스를 장착 할 수 있습니다. 이 도구의 스퍼터링 속도는 분당 2 나노 미터 (2 nanometer) 이며 빠르고 효율적인 증착 과정을 허용합니다. 4400에는 마그네트론 (magnetron) 소스가 장착되어 선형 소스에 비해 증착 속도가 향상되었습니다. 자산에는 프로세스 안정성과 반복성 (repeatability), 안전 연동 (Safety Interlock) 메커니즘을 보장하기 위한 고급 컨트롤러도 장착되어 있습니다. 또한 펄스 전원, 다단계 시퀀싱, 레시피 스토리지 등의 기능을 갖춘 자동 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 또한 컨트롤러에는 내장 온도 모니터와 자동 차단 기능이 있습니다. PERKIN ELMER 4400 (PERKIN ELMER 4400) 은 처리량이 많은 증착 환경을 위해 개발되었으며, 자동 시작 기능이 있는 컬러 그래픽 사용자 인터페이스 (Color Graphical User Interface) 와 같은 여러 가지 사용 편이성 기능이 있습니다. 이 모델에는 자동 기판 전달 메커니즘과 고급 진단 장비 (Advanced Diagnosis Equipment) 가 포함되어 있어 기질 스트레스 없는 운송이 보장됩니다. 또한, 멀티 스퍼터 응용 프로그램 (multi-sputter application) 을 위해 시스템을 확장 할 수 있으므로 여러 개의 박막 증착이 가능합니다. 4400은 스퍼터링 기술의 최신 기술을 나타내며, 표적 금속 마스크 패턴화, 에칭 (etching), 수동화 (passivation) 등 다양한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 이 장치는 스퍼터링 (sputtering) 장치에 사용할 수 있는 최고의 정밀도, 반복성, 제어 기능을 제공하며 다양한 연구, 산업 환경에서 사용할 수 있습니다.
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