판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #9077091
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ID: 9077091
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2004
Sputtering system, 6"
Sput down
(3) Targets, round 8"
RF/DC or Delta CTI Cryo pump and compressor
Upgraded RF and DC power supplies
Leybold D-30 MP
Computer controller
AE RFX-3000 and Pinnacle DC P/S turbo load lock
Ferrofluidic table and elevator assy PC ripe control
2004 vintage.
퍼킨 엘머 (PERKIN ELMER) 4400은 주로 표면 분석, 연구 및 산업 응용 분야에 사용되는 박막 증착에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 금속, 합금, 반도체, 절연체의 균일 한 박막 (thin film) 을 퇴적시킬 수 있으며 증착 율에 대한 높은 수준의 제어를 제공 할 수 있습니다. 이 물질은 아르곤 가스 (Argon gas) 또는 적절한 가스 혼합물 (gas mixture) 로 표적 물질을 폭격하는 반면, 기질은 매우 높은 진공 챔버에 보관됩니다. 표적 물질의 '스퍼터링 (sputtering)' 또는 폭격으로 입자가 표적 물질에서 배출되고, 그 후 챔버를 가로 질러 기질로 이동한다. 입자 는 표적 물질 의 원자 를 함유 하고 있으며, 그 원자 는 결국 기판 에 얇은 "필름 '을 만든다. 4400 스퍼터링 장치 (Sputtering Unit) 는 전력 효율이 높은 모델로, 낮은 전력 설정에도 불구하고 높은 증착률을 낼 수 있습니다. 공정 보다 많은 "가스 '를 사용 할 수 있게 해 주는 통합" 아르곤' 보호기 를 갖추고 있으며, 전체적 인 비용 을 절감 하는 데 도움 이 된다. 또한 진공 결과를 향상시키기 위해 터보 분자 펌프를 사용합니다. 이 "펌프 '는 최고 10,000" 리터 '/초 의 "펌프' 속도 를 제공 하며" 프로젝트 '의 필요 에 따라 사용자 정의 할 수 있다. 이 기계 는 또한 다양 한 종류 의 재료 들 을 가장 품질 이 높은 "스퍼터링 '을 공급 하는 다양 한" 스퍼터링' 공급원 을 제공 한다. 온도, 전류에 대한 독립적 제어, 조정 가능한 주파수 수준 등의 기능을 제공합니다. 또한 최대 8 개의 웨이퍼 또는 기판과 호환되는 로봇 로더/언로더 (robotic loader/unloader) 도구가 포함되어 있으며 최대 120mm/초의 최고 수송 속도를 제공합니다. 전체 자산도 매우 조정이 가능하고 사용자 정의가 가능합니다. "챔버 '는 360도 로 회전 하여 위아래로 이동 하여 퇴적물 을 가장 잘 볼 수 있도록 하고, 그 과정 을 감시 할 수 있다. 이 모델은 또한 강력한 모니터링 (monitoring) 및 경보 시스템 (alarm system) 을 제공하여 장애 또는 문제에 신속하게 개입할 수 있습니다. PERKIN ELMER 4400 스퍼터링 장비는 빠르고, 효율적이며, 안정적이며, 박막 증착이 필요한 프로젝트에 적합한 옵션입니다. 올바른 설정을 통해, 시스템은 고품질 스퍼터링 소스와 로봇 로더/언로더 (unloader) 기능을 사용하여 균일하고 일관된 필름을 만들 수 있습니다. 또한, 이 장치는 조정 가능한 매개변수, 밀착 모니터링 및 경보 시스템 (alarm system) 을 갖추고 있으며, 정확성과 정확성에 관해서는 안심할 수 있습니다.
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