판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #9023631

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ID: 9023631
Sputtering system (3) Targets DC Magnetron Cryo pumps DC and RF Power supplies Etch capability Load lock Bias etch preclean capability Original controller Does not include PLC based Includes: Manuals Mechanical vacuum pump.
PERKIN ELMER 4400은 연구 및 개발을 위해 일반적으로 박막 증착에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 주 챔버 (main chamber) 에 목표물을 배치하고 반도체 웨이퍼 (semiconductor wafer), 태양 전지 (solar cell) 및 디스플레이 (display) 와 같은 기판을 2 차 챔버에 보관하는 2 챔버 구성을 특징으로합니다. 스퍼터링 장치는 온도, 압력, 전압, RF 및 DC 전력, 펄스 시간, 펄스 주파수 및 펄스 너비와 같은 스퍼터링 매개 변수에 대한 고정밀 제어를 제공합니다. 이로써, 균일 한 두께 와 형태 의 기질 을 균일 하고 일관성 있는 "코우팅 '을 할 수 있다. 또한, 이중 음극 작동을 위해 기계를 구성 할 수 있으며, 이를 통해 두 개의 재료를 한 번에 증착 할 수 있습니다. 4400은 고급 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 부하 및 언로드 중에 기판을 감지 할 수있는 고급 시력 인식 소프트웨어 (Advanced Vision Recognition Software) 가있는 컴퓨터 제어 로봇 암이 특징입니다. 수작업 없이 "가스 '를" 챔버' 안팎으로 효율적으로 옮길 수 있으므로 처리량 이 높아진다. 또한 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 스퍼터링 프로세스를 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 이더넷 (Ethernet) 연결을 통해 원격으로 작동할 수 있으며, 프로세스 레시피를 저장할 수 있습니다. 특히 대규모 운영 실행에 유용합니다. 또한, 자산은 독립적 인 공정 제어 (process control) 를 특징으로하여 스퍼터 가스의 감동적인 속도와 방향을 조정할 수 있습니다. PERKIN ELMER 4400에는 반도체 장치 제조, 배터리, 태양 광 패널 및 디스플레이 제조, 데이터 저장, 광학 필터 생산 등 다양한 응용 프로그램이 있습니다. 이 모델은 다층 필름 (multi-layer film) 과 같은 커스텀 코팅 (custom coating) 을 가능하게 할 정도로 다양하며, 레이어 간의 뛰어난 치수 제어, 접착 및 연속성이 있습니다. 독립형 장비로 사용되든, 완전한 생산 라인에 통합되든, 4400 은 안정적이고 효율적인 스퍼터 증착을 제공합니다. 스퍼터링 매개변수 (sputtering parameters) 의 정밀 제어, 고급 자동화 (advanced automation) 및 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 포함한 최첨단 기술의 조합은 연구 및 생산 요구에 이상적인 솔루션입니다.
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