판매용 중고 PERKIN ELMER 4400 #42927

PERKIN ELMER 4400은 정밀 샘플 준비를 위해 특별히 설계된 고 처리량 스퍼터링 장비입니다. 특히 금속, 금속 합금, 산화물 증착, 다양한 기판에서 반도체 (semiconductor) 와 같은 고급 산업 응용 분야에 적합한 고품질 박막 (thin film) 을 생산합니다. 이 스퍼터링 시스템에는 강력한 18kW 전원 공급 장치가 장착되어 기판 표면에 최대 2.5nm/min의 재료를 배치할 수 있습니다. 대상 보유자는 최대 5 개의 다른 목표를 쉽게 수용하도록 설계되었습니다. 또한, 정교한 셔터 메커니즘은 전체 샘플 영역 전체에 균일 한 증착을 보장하는 한편, 자동 목표 교환 (automatic target exchange) 및 공기 또는 대기에 대한 최소 노출을 제공합니다. 스퍼터링 공정은 동봉 된 자기 차폐 챔버 (magnetically-shielded chamber) 내에서 이루어져 목표 표면에서 길 잃은 전자를 방지합니다. 이는 증착의 균일성과 뛰어난 영화 품질을 초래합니다. 자동화, 프로그래밍 가능, 배치 제어 장치 및 실시간 표면 X- 선 분광형 표면 제어를 통해 증착 시간, 전류, 온도, 압력 모니터링, 조정 가능한 성능 매개 변수를 통해 스퍼터링 프로세스를 쉽게 작동하고 제어할 수 있습니다. 이 기계는 산화 알루미늄, 금, 산화 티타늄, 산화 탄탈륨 등과 같은 금속, 금속 합금 및 산화물의 증착에 적합합니다. 각도 기판 척 (chuck) 과 석영 사행실 (quartz meandering unit) 을 포함한 다양한 증착 액세서리가 장착되어 있어, 세밀하게 제어 된 각도로 도달하기 어려운 기판에 필름을 증착할 수 있습니다. 또한, 고급 스퍼터 헤드 (sputter head) 는 다양한 크기와 모양의 웨이퍼 또는 패널을 높은 처리량으로 생성 할 수 있습니다. 4400 은 우수한 성능과 다양한 고급 (advanced) 기능을 제공하여 최소한의 시간 내에 매우 균일한 박막 (thin film) 을 제작할 수 있습니다. 상업 및 산업 목적을위한 이상적인 스퍼터링 도구입니다.