판매용 중고 PERKIN ELMER 2400 #9272966
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ID: 9272966
Sputtering system
Round targets, 8"
RF Diode cathodes
RF Generator
Mechanical pump
LEYBOLD 450 Turbo pump.
PERKIN ELMER 2400은 대형 기판 또는 여러 개의 작은 샘플에서 박막을 균일하게 스퍼터링하도록 설계된 고급 PVD (Physical Vapor Deposition) 장비입니다. 이 시스템은 연구실과 생산 실험실의 요구를 모두 충족하도록 설계된 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다 (영문). 2400 스퍼터링 유닛은 직류 불균형 마그네트론 (unbalanced magnetron) 기술을 기반으로하며, 표면 균일성이 뛰어난 박막의 뛰어난 물리적, 전기적 특성을 보장합니다. 온도 조절, 고농도 비율, 무선 주파수 향상 스퍼터링 (sputtering) 과 같은 포괄적 인 증착 매개 변수를 제공합니다. 기계는 공정 챔버, 기판을위한 6 축 조작기, 클러스터링 된 마그네트론 소스, 증착 재료 소스, 냉각 도구, 온보드 도량형 장치, 진공 하위 시스템 및 소프트웨어 인터페이스가있는 콘솔로 구성됩니다. 사용자 친화적 인 hmi's. 이 자산은 소중하고 소중한 금속, 합금, 산화물, 유전체를 포함한 다양한 박막 재료의 증착을 광범위한 두께로 가능하게합니다. 즉, 작은 컴포넌트에서 매우 큰 기판까지 여러 기판 모양과 크기를 선택할 수 있습니다. 고면적 균일성 (high area uniformity) 과 평활한 표면, 균일한 전력 밀도 및 재료 강착 두께를 제공합니다. 이 모델은 또한 저렴한 단위당 (cost-per-unit) 생산 속도로 높은 처리량과 비용 효율적인 증착을 제공합니다. PERKIN ELMER 2400은 뛰어난 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 그것 은 퇴적 된 "필름 '의 두께 를 감시 할 수 있는데, 이것 은 재료 의 질 을 조절 하는 데 필수적 이다. 장비는 또한 퇴적물 (deposited material) 의 구성을 모니터링하여 증착 과정을 완전히 제어 할 수 있습니다. 또한, 시스템은 필름 두께, 균일성, 온도, RF 입력 및 에치 레이트와 같은 매개변수를 포함하여 사용자에게 친숙한 컨트롤을 제공합니다. 이 장치는 증착률 (Deposition Rate) 과 두께 (Film Thickness) 를 자동으로 조절하고 증착률 (Deposition Rate) 과 기판 온도 조정에도 사용될 수 있습니다. 전체적으로 2400 개의 스퍼터링 머신은 다양한 어플리케이션에 뛰어난 성능과 비용 효율적인 박막 증착을 제공합니다. 뛰어난 박막 통일성 (Thin Film Uniformity) 과 뛰어난 박막 접착력을 제공하여 연구 및 생산 시설에 매우 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.
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