판매용 중고 PERKIN ELMER 2400 #9269416

PERKIN ELMER 2400
ID: 9269416
웨이퍼 크기: 4"-6"
Sputtering system, 4"-6".
PERKIN ELMER 2400은 연구 및 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 시장에서 가장 발전된 스퍼터링 시스템 중 하나로, 탁월한 성능과 빠른 처리량을 제공합니다. 이 시스템은 마그네트론 (magnetron) 유형의 직류 (DC) 스퍼터링 기술을 기반으로하며, 다양한 대상 모양과 크기가 있습니다. 기체 흐름, 압력, 온도를 정확하게 제어 할 수있는 새로운 가스-기판 제어 장치가 특징입니다. 이 기계는 전체 기판에 걸친 필름의 균일성 (unifority) 을 보장하고, 실행 (run) 에 이르는 일관된 속성과 성능을 제공합니다. 이 도구는 다용도가 높으며 반도체, 평면 패널 디스플레이, 광학, 태양 에너지, 사진 볼타 셀, 나노 기술 등 다양한 기술에 적용 할 수 있습니다. 또한 전기 도금, 아연 도금, 진공 금속화와 같은 다양한 미립자 증착 및 코팅 프로세스를 지원합니다. 자산의 온도 범위는 섭씨 -20 ° ~ + 85 ° 이며, 자동 조절 전원 공급 장치 (autoregulated power supply unit) 를 포함하여 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다. 이 모델은 또한 스퍼터링, 청소, 물리적 증기 증착 (PVD), 광학 활성 수소 종결 등 다양한 프로세스에 사용될 수있는 저진공 챔버를 특징으로합니다. 이 장비는 다양한 프로세스에서 안정적이고 일관된 결과를 제공하도록 설계되었으며, 높은 정확도와 반복 (repeatability) 을 제공합니다. 작동이 쉽고 다양한 기능 (예: 조정 가능한 프로세스 매개변수, 자동 기판 로드, 자동 언로드) 을 제공합니다. 2400 은 모든 애플리케이션에 적합한 다양한 액세서리와 옵션을 통해 높은 프로세스 제어 및 반복 (repeatability) 기능을 제공합니다. 모듈식 "디자인 '은 조작 하기 쉽고, 여러 개 의 기판 을 한꺼번에 수용 할 수 있도록" 시스템' 을 구성 할 수 있다. 또한, 이 장치는 나중에 사용할 수 있도록 매개변수를 제어하고 프로세스를 저장할 수 있는, 사용자 정의 가능한 플랫폼을 제공합니다. 마지막으로, 기계는 안정적인 전압, 일관된 전류 및 낮은 펄스 너비로 뛰어난 펄스 파워 성능을 가지고 있습니다.
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