판매용 중고 PERKIN ELMER 2400 #9215991
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ID: 9215991
Sputtering system
With load lock
Platen optimum, 4.5"-8"
Gun, 2"-3"
With PLC control
PLC / PC With data logging
W-10
Remote access
Load lock reduces pump down time
Anode / Cathode spacing remotely adjustable
Heat / Cool substrate table
Automated for high production throughput
Optional heat / Cool table: 600° With rapid cool down
(3) Cathodes diameter, 8"
Round targets, 8”
Vacuum station: Turbo molecular / Diffusion-pump
Tuning: Randex Servo-match automatic tuning
LEYBOLD 450 Turbo pump
No mechanical pump
No RF generator
Substrate table:
Water-cooled, 8" diameter
Etch / Bias operations:
Up to 1 kW Etch
Variable bias: 0 to 50%
Shutter:
Stainless steel cup
Vertical and radial adjustment
Control & meters:
Manual override toggle switches for load and tune controls
Target selector
Mode selector
Shutter position switches
Bias adjust potentiometer
RF Power adjust control
RF Power ON / OFF push button
Table bias
Forward power
Reflected power meter
RF Power supply: 1 & 2 kW Controlled remotely from sputtering module.
PERKIN ELMER 2400 (PERKIN ELMER 2400) 은 얇은 스퍼터블 재료 층을 기판에 배치하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 코팅은 높은 증착율로 얇은 균일 코팅을 생산할 수 있으며 광학 (optical), 표면 민감성 (surface-sensitive), 자기 장치 (magnetic device) 와 같은 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 이 시스템은 2 소스 및 4 소스 시스템을 통해 고급 스퍼터 코팅 기능을 제공하며, 이는 예금 중인 재료 유형에 따라 별도의 구성을 사용합니다. 두 경우 모두, 이 장치는 높은 처리량, 높은 진공 플랫폼을 사용하여 과도한 가열 또는 산화없이 초박층 증착을 허용합니다. 2400은 자동화 된 프로세스를 사용하여 20 Angstrom (A) 에서 5000 A 사이의 정확한 반복 가능한 코팅을 허용합니다. 이 기계는 2 개 또는 4 개의 스퍼터 소스를 선택할 수 있으며, 각 소스는 개별적으로 조정되어 증착 과정에 대한 더 큰 제어를 제공 할 수 있습니다. 또한 주변 공기 대신 일관된 전하를 유지하기 위해 아르곤 (argon) 또는 다른 고귀한 가스 (gas) 를 통합 한 통합 비활성 가스 대기가 특징입니다. 이 도구에는 온도, 가스 혼합 (gas mixture), 전원 수준 (power level) 과 같은 프로세스 매개변수를 모니터링 및 조절하기위한 고급 컨트롤도 있습니다. 4 소스 구성을 통해 사용자는 단일 코팅 프로세스 (coating process) 동안 다른 스퍼터블 (sputterable) 재료를 쉽게 번갈아 가며 다양한 코팅 컴포지션에 액세스 할 수 있습니다. 기판 처리와 관련하여, PERKIN ELMER 2400은 다양한 모양과 크기로 평면 및 곡선 기판을 모두 수용 할 수 있습니다. 이 자산은 조절 가능하고 쉽게 분리 가능한 벨 밀봉 (bell-seal) 을 사용하여 물질의 짝수 흐름과 일관된 박막 결과를 보장합니다. 스퍼터 코팅 기능 외에도 2400은 X- 선 형광 (XRF) 및 Auger Electron Spectroscopy (AES) 와 같은 고급 분석 기능도 제공합니다. XRF (XRF) 는 화학 성분을 위해 샘플의 표면을 스캔하는 반면, AES는 코팅 물질 표면에서 발견 된 분자 구조의 지문을 제공한다. 두 가지 모두 추가 조사를 수행하고 필요한 경우 증착 매개 변수를 조정할 수 있습니다. 전반적으로, PERKIN ELMER 2400은 연구 시설, 실험실 및 기타 산업 응용 분야를위한 최고의 코팅 솔루션을 제공하기 위해 설계되었으며, 사용자는 다양한 프로젝트에 대한 박막 재료를 쉽게 입금 할 수 있습니다. 자동화된 컨트롤, 다양한 설정 (setting), 고급 분석 (analytical) 기능을 갖춘 이 모델은 모든 실험 또는 개발 환경의 요구를 충족시킬 수 있는 안정적이고 다양한 스퍼터링 (sputtering) 장비입니다.
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