판매용 중고 PERKIN ELMER 2400 #9140537

PERKIN ELMER 2400은 주로 재료 과학 분야에서 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 박막을 기판에 배치하는 데 강력하고, 다양하며, 저렴한 도구입니다. 이 시스템은 다중 표적 스퍼터 소스, 진공 챔버, 극저온 냉각 기판 단계, 가변 압력 가스 박스 및 스퍼터 가스 박스 (sputter gas box) 를 포함하는 소형 주택으로 구성됩니다. 진공실은 다양한 압력 수준과 최대 6 개의 펄스 증착원을 제공합니다. 극저온 냉각 기질 단계는 75x75mm에서 200x200mm 크기의 기질을 수용 할 수 있습니다. 스퍼터링 프로세스는 대피/아웃 가스 단계로 시작합니다. 이것은 증착을 위해 약실을 약 10-4 Torr의 압력으로 펌핑하는 것과 관련이 있습니다. 그 다음 에 기질 을 "가스 '상자 를 통하여" 스퍼터' "가스 '혼합물 을" 스퍼터' 원 에 전달 하여 저항 열 단계 를 이용 하여 원하는 온도 까지 가열 시킨다. 이 가스는 일련의 빠른 DC 펄스를 사용하여 챔버로 펄스됩니다. 이 펄스는 스퍼터 증착을 수행하는 데 사용될 고에너지 입자를 만듭니다. 마지막으로, 장치의 표적은 비활성 가스로 이식되며, 최대 10 킬로 볼트 (Killovolts) 의 전압으로 이온화되고 폭격된다. 이 "폭격 '은 활력 이 넘치는 입자 들 의" 샤워' 를 만들어, 표적 으로부터 물질 을 분출 하여 기판 표면 으로 증착 시킨다. 스퍼터링 된 물질은 일반적으로 표면의 여러 미크론 (micron) 내에서 멈추지 만 응용 분야에 따라 맞춤 될 수 있습니다. 2400은 질화물, 산화물, 탄화물, 금속 합금 및 유전체 필름을 포함한 다양한 박막을 배치 할 수 있습니다. 모든 스퍼터링 (sputtering) 은 프로세스 매개변수가 일정한 제어 환경 아래에서 실행되므로 필름 두께와 컴포지션을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 기계는 다양한 형태의 전자 분광법 및 현미경을 포함하여 in situ 및 ex situ 분석 기술과도 호환됩니다. 퍼킨 엘머 (PERKIN ELMER) 2400 (2400) 은 정확한 제어 및 다양한 호환성을 제공하여 연구 시설에서 박막 증착을위한 이상적인 도구입니다. 이 고급 스퍼터링 (Sputtering) 자산은 작동이 쉽고, 안정적이며, 비용이 효과적이며, 품질 스퍼터링 모델을 찾는 사람에게 이상적인 선택입니다.